中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9142634 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirraは、ウェーハ基板の効率的な加工のために開発されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ウェーハ表面の欠陥を除去し、耐久性と欠陥のない表面を作成するために使用されます。このユニットは、基材の研削および研磨プロセスを駆動するために使用される高品質のスピンドルモータを備えています。また、ウェーハ表面を均等に加熱するための空冷オーブンを内蔵しており、熱損傷を防ぎながら研磨研磨材を最大限に使用することができます。このマシンは、ウェーハ表面の再現性と一貫した負荷と研削を確保するために、高精度のウェーハチャックとパワードディストリビューションヘッドで構成されています。AMAT Mirraは、正確で信頼性の高い真空ウェーハクランプも備えており、ウェーハの研削、ラッピング、研磨を高速化します。特許取得済みの独自のプロセスにより、最高品質のウェーハサーフェスを可能な限り最短時間で製造できます。ダイヤモンドダストを使用したマルチステップ研削プロセスとキネマティックグラインドヘッドを組み合わせ、優れた結果を提供します。このツールはまた、効率的な操作を容易にするために完全に自動化された研削アセットを備えています。ウェーハの自動研削、ラッピング、研磨のための5軸ロボットプラットフォームを備えています。これにより、ウェーハの手動処理にかかる時間を短縮し、処理時間の短縮と生産性の向上を実現します。この装置は、最高品質のウェーハ表面を確保するために、最新のプロセスおよび制御技術で設計されています。これには、プロセス制御用の統合ループコントローラと、再現性と一貫性を確保するための高度なレシピ管理システムが含まれます。結論として、アプライドマテリアルズミラは、効率的で高品質な加工のために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットです。高品質のスピンドルモーター、オーブン、ウェハチャック、配電ヘッド、真空ウェハクランプを備えています。また、多段式研削プロセスと自動処理のための5軸ロボットプラットフォームを利用しています。最後に、このツールには統合されたループコントローラと高度なレシピ管理資産も含まれており、再現性と一貫性を確保します。