中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9142631 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra
ID: 9142631
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
CMP Oxide systems, 8" 1999 vintage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Mirraは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨などの高精度表面仕上げ用途向けに設計された完全自動ワークステーションです。この装置は、集積回路、半導体、MEMS、高度な光電子デバイスなどの電子デバイスの製造に特に適しています。AMAT Mirraシステムは、幅広い材料の生産スケールの表面仕上げのための多目的で正確で安全なプラットフォームを提供します。APPLIED MATERIALS Mirraユニットには、高度なモーションプラットフォームが装備されており、一連の認定プロセスコンポーネントを統合して、優れたレベルのプロセス制御を提供します。このプラットフォームには、8軸モーションコントロール、自動化されたセンサレス測定、自動化されたウェーハの向き、および高度なプロセス制御機能を提供するプロセスコントローラが含まれています。モーションコントロールマシンを使用すると、ユーザーは表面準備操作を正確に定義してプログラムすることができます。また、高速研削盤、ラッピングプレート、研磨スライス、ウェーハホルダーなど、一連の高度なウェーハ研削および研磨アクセサリーも含まれています。このツールは、最大8インチのウェーハサイズと最大1000 rpmの高速研削ヘッドを提供する、迅速なスループットのために設計されています。また、このプラットフォームには熱管理アセットが統合されており、研削およびラッピング作業中の熱損傷を防ぎます。このモデルは熱暴走を防ぎ、良質の表面の終わりを保障するために用具表面およびプロセス区域の温度を調整できます。Mirraには、安全性とユーザーの快適性を向上させるさまざまな機能もあります。内蔵の統合ガス排気装置は、ほこりなどの空気中の微粒子を捕捉し、ワークステーション内の安全な作業環境を維持するのに役立ちます。保護ウィンドウシールドは、ユーザーが研削面積から安全な距離を保ちながら操作を監視することができます。最後に、このシステムには、最高レベルの表面仕上げ品質を維持するために研削操作を継続的に監視し自動的に適応させるインテリジェントなプロセス制御アルゴリズムが含まれています。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirraは、表面仕上げに信頼性が高く、効率的で正確なプラットフォームを必要とするメーカーにとって理想的なユニットです。プロセスを最高レベルの精度に微調整するための制御と柔軟性を提供し、安全機能により安全で効率的な操作が可能です。機械は急速なスループットのために設計され、それを産業か研究の適用のための理想的な選択にさせるさまざまな材料を扱うことができます。
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