中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9142627 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra
販売された
ID: 9142627
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
CMP Oxide systems, 8" 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirraは、半導体およびオプトエレクトロニクス用途向けに特別に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このプロセスは、高度で高性能な集積回路の製造に不可欠です。AMAT Mirraシステムは、複数のプロセスを高速かつ高精度で実行できるため、製品の歩留まりと全体的な品質が向上します。単位の中心の部品は粉砕、ラッピングおよび磨く場所です。このステーションは、研磨加工ヘッドとウェハチャックの2つのコンポーネントで構成されています。研磨プロセスヘッドは、ウェーハの研削、ラッピング、研磨プロセスの速度を制御するコンポーネントです。それはgrindstonesおよびダイヤモンドのパッドであるこれらの操作のための必要な用具を収容する。ウェーハチャックは、ウェーハを所定の位置に保持する機械のコンポーネントであり、プロセス中にウェーハを正確に操作することができます。これは、プロセス全体でウェーハの安全で正確な位置決めを提供するように設計されています。このツールには、ビジョンアセットとプロセス監視モデルも含まれています。このビジョン装置は、プロセス開始前にウェーハの適切なアライメントを確保するために使用され、プロセス監視システムは、異なる操作の進捗状況を追跡し、それらが正しく完了していることを確認するために使用されます。APPLIED MATERIALS Mirraユニットには、データ収集および制御機械が装備されており、プロセスの結果に簡単にアクセスできます。このツールには、プロセス中にさまざまなパラメータを測定するために使用されるin-situウェハテストアセットも含まれています。これにより、プロセスをより正確に理解することができ、オペレーターにフィードバックを提供します。このモデルは、高温環境で動作するように設計されており、腐食性材料で使用するために設計されています。この装置は非常に効率的であり、プロセスで使用されるエネルギーや材料の量を減らすためにさまざまな技術を利用しています。また、メンテナンスも容易に設計されており、産業の動向や技術の進歩に合わせて簡単に更新およびアップグレードすることができます。全体的に、Mirraは高品質の結果を提供する信頼性の高い効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットです。データへのアクセスが容易で、信頼性の高いプロセスモニタリングマシンで、高速で高精度なパフォーマンスを実現します。このツールはまた、エネルギー消費と廃棄物を削減するように設計されており、維持することは非常に簡単です。
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