中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Titan II #9049233 を販売中

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ID: 9049233
ウェーハサイズ: 8"
Polishing head, 8" For Mirra profiler, 4-zone.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Titan IIは、半導体ウェーハの表面を研削・研磨するために使用されるウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。このシステムは、ウェーハ表面に均一で滑らかで高品質な仕上がりを作り出すために、さまざまな研磨および研磨技術を使用しています。AMAT Mirra Titan IIは、サイクルタイムを短縮し、歩留まりを改善するとともに、ウェーハ壁と上面の高精度なラッピングと研磨を提供するように設計されています。このユニットは、特許取得済みの「スマート移動」技術を使用しており、すべての移動が正確に計算され、エラーの余地はありません。これは、機械がすばやく研磨し、研磨できることを意味します。さらに、このツールは、研削および研磨プロセスを効果的に制御し、汚染を低減できるハイテク真空アセットを使用しています。モデルの研磨手順は3つのステップに分かれています。まず、ウェーハを準備します、所望のサイズに徐々に研削を含みます。その後、ウェーハに研磨剤と脱イオン水のスラリーを適用することによって動作するラッピングプロセスがあります。これに続いて、表面をさらに滑らかにする一連の高速バッフィングディスクが続きます。最後に、システム研磨ステップは、ジョブを終了するように設計された研磨コンパウンドを搭載した研磨パッドを利用しています。アプライドマテリアルズMirra Titan IIは、大型から小型まで、さまざまなサイズのウェーハを研磨および研磨するように設計されています。さらに、各ウェーハの最高の仕上がりを保証するように設計されたさまざまなサイズのポリッシングパッドが付属しています。研削工具と研磨工具を組み合わせることで、ウェハ表面が滑らかで一貫性があり、欠陥が最小限に抑えられ、均一で高品質な仕上がりを実現します。システムはまた、一貫したパフォーマンスと再現性のある結果を保証するために、プロセスのパラメータを監視および制御する機能をユーザーに提供します。このユニットにはデータロギングとプロセス分析機能も内蔵されており、ユーザーはデータをレビューし、プロセスを最適化して可能な限り最高の結果を保証することができます。全体として、Mirra Titan IIは信頼性が高く効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨機で、サイクルタイムを短縮し、歩留まりを改善しながら、加工中のウェーハに高精度な仕上げを提供します。このツールの高度な技術と特許取得済みの「スマートムーブメント」技術により、各ムーブメントが正確に計算され、高速でエラーのないプロセスと高品質の完成品が得られます。
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