中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Standalone #9313449 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Standaloneは、精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨用に設計された自動装置です。システムはウェーハの粉砕および磨くことのための精密段階を含んでいます；ウェーハラッピングのためのCOREBAステージ。そしてウェーハのスループットのためのApexの段階。精密ステージは、最大200mmのサイズのウェーハを正確かつ自動的に研磨および研磨することができます。これは、再現性と信頼性の高い研磨結果のための事前にプログラムされたレシピを備えています。単位は完全な磨くことを保証するために、統合された視野の点検機械が付いている反復可能な動きおよび圧力制御を、利用します。COREBAステージは、最大200mmまでのウェーハ用の自動2段ウェーハラッピングツールです。ユニークなセンターバキュームデザインにより、ウェハを可変力でラップさせることができます。ウエハサイズの異なるラッピングプレートを複数搭載し、ウエハフラット性と丸みを確保します。Apexステージは、統合されたウェーハスループットアセットです。これは、複数のロボット技術、ウェーハの識別と整列のためのビジョンモデル、およびダイアタッチ機能を利用しています。これにより、複数のウエハを精密に装置を介して処理することができます。システム全体が精度と再現性のために設計されています。高精度なモーションコントロールにより、ウェーハを一貫して再現可能な方法で処理し、高品質な結果を得ることができます。このユニットには、エラーレポートや緊急時の自動シャットオフなどの複数の安全機能も含まれています。AMAT Mirra Standaloneは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための高度な機械です。操作ごとに複数のステージを備えており、すべて精密モーションコントロールと統合ビジョンシステムを備えています。また、安全機能と精密ウェーハスループットのための複数のロボット技術も含まれています。