中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak #9250631 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak
販売された
ID: 9250631
ウェーハサイズ: 8"
CMP System, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALTS Mirra Ontrakは、高精度の自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨用に設計された汎用性の高い機械です。特許出願中の自動工具装置(AATS)が付属しており、研削、ラッピング、研磨作業を迅速かつ正確に切り替えることができます。AMAT Mirra Ontrakのユニークな特徴は、精密な変調力のための高精度力制御システムであり、最適な研磨結果を得ることができます。APPLIED MATERIALS Mirra Ontrakは、このユニットを通じて、重要な半導体アプリケーションで使用するさまざまな材料を確実かつ正確に処理することができます。Mirra Ontrakは、4200mm/sまでの移動が可能な高精度の3軸モーションプラットフォームと、正確で安定したツールモーションを確保するための堅牢な花崗岩の構造を備えています。また、2つの独立した温度制御LM10フォースコントロールマシンモーターが装備されており、最大400Nまでの統一された力を提供します。さらに、このツールはアクティブ/パッシブ研削モードをサポートし、微細加工と粗加工の両方を実現することができます。AMAT/APPLIED MATERIALTS Mirra Ontrakは、各基板のプロセスを最適化するために、力だけでなく、研削速度、加速度、減速を測定し、正確に制御するインテリジェントな資産を提供します。また、ダイレクトプロセス制御モデルを搭載しているため、1つのプロセスで処理モードを素早く正確に切り替えることができます。これは、各プロセスがアプリケーションの正確な要件に従って行われることを保証します。さらに、AMAT Mirra Ontrakには、温度や湿度センサーなどのさまざまな環境制御システムが搭載されており、機械の環境を監視してプロセスが中断されないようにしています。また、最高の性能と信頼性を確保するために、ユーザーと機器を保護するための多くの安全機能を備えています。結論として、APPLIED MATERIALTS Mirra Ontrakは、アクティブ/パッシブ研削モード、高速モーション、インテリジェントな力制御システムでさまざまな材料を処理できる高精度の研削、ラッピング、研磨用に特別に設計された頑丈で信頼性の高いツールです。それはあらゆる半導体の適用にとって理想的である信頼でき、正確な用具です。
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