中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra OnTrak #9223509 を販売中
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ID: 9223509
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
CMP System, 8"
Process: PCUD
System controller
Main system:
Polisher
Ontrak cleaner
FABS Cassette system
Missing / Faulty parts:
Pneutronic board
(2) Slip rings
Analog board
Cross motor
CPU: Pentium III 400 MHz
Dual RAID hard disk
Hard disk size: 68 GB
RAM: 128 MB
Hardware:
Polisher with controller: Mirra 3400 / 5201
Cleaner: Ontrak
Indexer: RORZE FABS
Slurry (P1+P2+P3): AB
Endpoint laser P1: IScan
Endpoint laser P2: FullScan
Polisher middle skins: P1 & P3 Dark skin, P2 clear skin
No chiller
Com port server: Digi EL160
Cleaner brush LDM: LDM With entegris flow sensors
Slurry in CLC
Slurry arm: (4) Lines
Polishing head: Titan I
Rotary union: (3) Ports
Cross type: Cattrack
Cassette slot run order (From slot 1 down to 25)
Platen teflon coated
Pad conditioner type: UNIVERSAL
Retainer ring type: AEP II
Membrane type: Silicone membrane
PC Diaphragm: DDF3 Diaphragm
Brush with core type: MYKROLIS Ontrak brush
Upgrade / CIP Retrofit details:
LLA Guide pin: Self align
PM Reduction kit: Partial
UPA: Waterfall
No splash guard
Exhaust blower
Magnehelic pressure low level detection kit
SRD Exhaust interlock
Queue tub
Blackout covers
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Trackは、半導体および関連産業向けに設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、高い生産速度で優れた表面平坦性と表面欠陥低減を提供するように設計されています。このユニットの汎用性により、複数のウェハ構成やサイズに対応できます。AMAT Mirra Trackの主なコンポーネントには、マルチブレードコーティングウェハキャリア、キーレスリングクランプ、キーレス、マルチポートアライメントマシン、および表面平坦度測定ツールがあります。コーティングされたウェーハキャリアは、複数のウェーハを安全かつ正しい方向に保持するように設計されています。キーレスリングクランプは、適切なウェハーマウントとスイングを保証します。マルチポート・アライメント・アセットにより、ウェーハの手動アライメントと自動化されたアライメントの両方を単独またはバッチで行うことができます。一方、表面平坦度測定モデルでは、直接表面平坦度を測定することができます。この装置は、最大25mmの範囲でウェーハを研削、ラッピング、研磨することができます。これは、異なるグリットサイズと研磨パッドを使用することで実現でき、幅広いプロセスレシピを使用することができます。このシステムは、プロセスレシピとパラメータを直接ユーザーが制御することで、完全に自動化されたクローズドループ操作のためにプログラムすることもできます。これにより、ユーザーは特定のアプリケーションにウェーハ処理手順をカスタマイズすることができます。APPLIED MATERIALTS Mirra Trackは、イベントログ、プロセスデータストレージ、リモートソフトウェア診断など、高度なデータトラッキング機能を備えています。これらの機能により、ユーザーはウェーハプロセスの品質を監視し、高水準の品質管理を維持するために即座にパラメータを調整することができます。全体として、Mirra Trackはさまざまなアプリケーションに使用できる汎用性の高いユニットです。その高度な機能とウエハ加工ステップをカスタマイズする機能は、半導体および関連業界で貴重な資産となります。
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