中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak #9181837 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Ontrakは、さまざまなウェーハで使用するために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高精度ダイヤモンド研削ヘッド、精密ラッピングヘッド、研磨ヘッドで構成されています。各ヘッドはPCによって制御される精密電動スピンドルに取り付けられています。研削ヘッドは、半導体プロセスで使用されるシリコン、ゲルマニウム、石英などの材料を研削するようにプログラムされています。ラッピングヘッドは、ウェーハ材料上の非常に滑らかな表面を生成するために使用されます。研磨ヘッドは、ウェーハ材料の研磨面を生成するために使用されます。AMAT Mirra Ontrakユニットは、あらゆる半導体材料でウェーハ研削加工の完全な範囲を実行するように設計されています。ウエハのエッジ位置を制御するための高度なウエハチャック、チャックヘッドを配置するためのメカニカルテーブル、ツールの回転速度を制御するためのスピンドルを備えています。このマシンは、単一および複数のウェーハフォーマットの両方を処理するように設計されています。また、表面の地形を正確に測定するように設計されており、研削工程を正確に制御することができます。研削ヘッドは、高精度な研削面を生成するように設計されています。各種研削加工に使用できる高精度ダイヤモンドホイールを搭載しています。また、ほこりなどの粒子がウェーハに飛ばされるのを防ぐダストシュラウドを備えています。粉砕工程で発生する粉塵や粒子を集めるために使用される真空アセットを備えています。ラッピングヘッドは、ウェーハ材料に高精度の平面を生成するように設計されています。高精度の電動スピンドルに搭載された2枚のラッピングプレートを装備しています。また、2つのラッピングプレート間の圧力を調整するために使用できる圧力レギュレータを備えています。圧力は、ウェーハの表面全体に研磨粒子の高精度かつ均一な分布を確保するために調整することができます。ポリッシングヘッドは、ウェーハ素材に非常に磨かれた表面を生成するように設計されています。高精度の研磨ホイールを使用して、高い研磨面を生成します。車輪はPCによって制御されるモーターを備えられた紡錘によって運転されます。また、ホイールとウェーハの間の正確な圧力を達成するのに役立つヘッドプレッシャーレギュレータが装備されています。モデルは容易で、精密な物質的な処理のために設計されています。ウェーハ材をチャックヘッドに持ち上げて配置できるウェーハローディング装置を備えています。システムはまた、処理中にウェーハを冷却して清掃するために使用される冷却洗浄機能を備えています。このユニットは、単一および複数のウェーハフォーマットの両方を処理できます。結論として、アプライドマテリアルズMirra Ontrakは、さまざまなウェーハ材料で高精度の表面を生成することができるウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。このツールには、調整可能なヘッド圧力レギュレータや真空システムなどの高度な機能が装備されており、正確で効率的な研削、ラッピング、研磨プロセスを保証します。