中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak #9160368 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak
販売された
ID: 9160368
CMP Systems.
AMAT/APPLIED MATERIALTS Mirra Ontrakは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための高性能機器です。高精度、高精度、コスト効率に優れたソリューションを提供し、さまざまな半導体およびパッケージングアプリケーションに対応します。AMAT Mirra Ontrakは、低コストかつ短納期で高品質のウェーハを製造することができます。このシステムは、垂直に取り付けられた回転スピンドルと、研削力を低減するための振動モータを備えています。モーターは単相永久磁石モーターまたは電気的に整流されたモーター(ECM)である場合もあります。モーターは、垂直運動と粉砕力の両方に使用されます。モータが動くにつれて、ワークと周囲の粉砕板に振動力が発生し、滑らかで均一な研削が可能になります。さらに、モーターは蒸気冷却されるか、または温度を低く保つのを助ける水冷を装備することができます。応用材料Mirra Ontrakはダイヤモンド研削ホイールとプラテン、またはプレートを内蔵しており、加工中にワークを配置します。プラテンは、適切な研削深さを設定する研削パッドで覆われています。モーターが動くにつれて、研削ホイールが回転し、ウェハの厚さが減少します。その後、プラテンは均一で均一な研削面を提供し、その結果、より厳しい公差を持つ高精度のウェハが得られます。このユニットには自動調整オプションがあり、条件の変化に応じて研削パラメータを素早く自動調整し、研削とラッピング性能を最適化することができます。Mirra Ontrakは、自動化された操作を容易にするためにコンピュータマシンに接続されています。これは、プロセスのリアルタイム監視だけでなく、監視と制御機能のセットを提供するグラフィカルユーザーインターフェイスを持っています。これは、パラメータが正しく調整され、ツールが正しく動作していることを確認するのに役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALTS Mirra Ontrakは、2「から6」までの幅広いウエハサイズとタイプのために設計されています。それは耐久のステンレス鋼の部品と造られ、いろいろ付属品の部品および化学薬品と互換性があります。取付け、維持することは容易であり低い作動騒音はユーザーの慰めを保障します。AMAT Mirra Ontrakは、迅速かつ正確な研削、ラッピング、研磨に最適です。
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