中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak #9064387 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS Mirra Ontrakは、半導体および精密光学基板の加工に使用されるウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。自己完結型システムは、彫刻、バリ取り、研磨、サイクルと誘電体基板の両方など、さまざまな加工作業を処理するように設計されています。このユニットは、2つの統合されたコンポーネント（グラインダーとラッパー）で構成されており、クローズドループまたはオープンダクトで接続できます。グラインダーは高速工具スピンドルを使用して、基板を急速に粉砕して厳しい公差にします。このプロセスは、基板を回転させ、選択した研磨材で研磨することによって達成されます。ラッピングマシンは同じプロセスを使用しますが、回転速度と圧力が低くなります。表面摩耗率を低減し、基板表面を均一で滑らかな仕上がりにします。AMAT Mirra Ontrakマシンには、加工性能とスループットを最適化できるいくつかのユーザー制御機能があります。これらの機能には、研削盤スピンドルの可変回転速度、研削盤とラッパーの両方の可変研削圧力、さまざまな基板タイプに適した複数の研磨媒体選択、および集積ダスト抽出が含まれます。また、加工中の基板の損傷を軽減する衝突検知技術も組み込まれています。このツールは、オペレータ機能を拡張するさまざまな自動化も提供しています。研削/ラッピングプロセスのリアルタイム管理、速度および圧力パラメータの自動調整が含まれます。その他の技術強化としては、デジタルプロセス管理システム、データロギング、ツールライフモニタリング、アラームシステムなどがあります。APPLIED MATERIALTS Mirra Ontrakは、半導体および精密光学基板を効率的かつ精密に加工し、生産および研究所での厳しい公差を実現します。アセットの自動化された機能は、オペレータにプロセス全体を合理化し、エラーを削減するために設計された多数の機能を提供します。これにより、一貫性のある結果が得られ、全体的な生産時間とコスト削減が向上します。