中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9398753 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesaは、半導体製造および試験プロセスにおいて、堅牢で再現性のある正確な結果を提供するように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ロータリー研削ホイール、化学機械研磨（CMP）スラリー、研磨ラッピングスラリーを使用してウェーハを製造します。ウェーハ研削は、ウェーハを研削ホイールに対して小さく制御された動きで移動させ、一貫した表面仕上げを実現することで構成されています。研削プロセスに続いて、ラッピングプロセスは、任意の不規則性を滑らかにし、均一な表面を生成するために使用されます。ラッピングプロセスは、ホイールがそれに対して円形の動きで移動しながら、ウェーハ上に循環する研磨粒子を含むスラリーで構成されています。最後に、研磨プロセスは、オプションで研磨剤と研磨剤をスラリーに追加し、連続的なプロセスでウェーハをホイールに服従させることで構成されています。これにより、ウェーハに一貫した高精度な仕上がりを実現します。AKT Mirra Mesaには、プロセスパラメータを管理するための制御ユニット、ウェーハリアルタイム監視および計測ディスプレイ、および外部計測機器とのインタフェースが装備されています。さらに、このマシンは、高性能と高い歩留まりを提供するように設計されており、包括的な故障検出とプロセスのランタイムチェックを備えています。このツールには、ウェハクリーニングとリソグラフィープロセスを自動化し、材料表面処理プロセス全体をさらに簡素化および最適化する自動ウェハ準備も付属しています。AMAT Mirra Mesaは、高精度のウェーハを製造するための高効率で費用対効果の高い方法を提供します。その幅広い機能により、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のほとんどのレジームに適しており、制御およびモニタリングシステムにより、アウトカムの精度、一貫性、再現性を実現します。さらに、ウェーハの自動準備プロセスは、材料表面処理プロセス全体を合理化するのに役立ちます。