中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9275384 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesaウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、半導体ウェーハを効果的に処理するために設計された自動プラットフォームです。このシステムは、最大200ウェハ/時間のスループットを誇り、単一のパッケージ構成で研削、ラッピング、研磨が可能です。高度な制御ユニットは、プロセス監視と統計プロセス制御（SPC）機能を複数のプラットフォームにわたって可能にし、高度なロボット制御ソフトウェアを使用してプロセスの最適な制御と精度を提供します。AKT Mirra Mesaは、正確なウェーハ処理を保証するために、さまざまなコンポーネントを装備しています。これには、高速ウェーハチャック、堅牢なロボットアーム、グラインドヘッド、多軸ベッドが含まれます。ベッドは立体的な動きを特徴とし、プロセス全体で安定した基板位置を維持するように設計されています。ロボットアームは、テンションコントロール、速度調整、振動減衰を提供することにより、プロセスをさらに最適化するのに役立ちます。グラインドヘッドは、固定半径を使用してウェーハトポグラフィーを最適化するように設計されており、超硬ブレードを装着することで、摩擦過多によるウェーハ表面の損傷を防止します。さらに、AMAT Mirra Mesaは、このマシンに固有のプロセス制御機能を提供します。これには、特定のラッピング時間、速度、グリットサイズ、およびその他のパラメータをプログラムする機能が含まれます。また、ウェーハ回転機構を備えており、最高の表面仕上げを最大限に均一にすることができます。制御ツールを使用すると、プロセスの再現性を最適化するために、処理パラメータを導出できるレシピも保存できます。このアセットは、各ウェーハの高品質で信頼性の高い仕上がりを保証します。これには、高い寸法精度と表面仕上げが含まれます。また、金属、酸化物、その他の薄膜の沈着前に優れた平面仕上げを行うことができます。Mirra Mesaは半導体産業や研究開発用途に最適です。