中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9239577 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa
ID: 9239577
ウェーハサイズ: 8"
Chemical Mechanical Polish (CMP) system, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesaは、半導体製造のための汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、エアーベアリングスピンドル、高度な研削/ラッピングヘッド、効率的なサンプルデータスループットのための独立したローディングとアンロード機能、および高い生産性のための自己完結型の研削/ラッピングチャンバーを提供しながら、すべての1つの革新的なマシンで精度、速度と効率を兼ね備えています。AKT Mirra Mesaは、研削、ラッピング、研磨機能のユニークで強力な組み合わせを提供します。2つの独立したスピンドルにより、片方のスピンドルにウエハ研削とラッピングを行い、もう一方のスピンドルに研磨します。その結果、より高速なウェーハ研磨が可能になり、難削材や研磨しにくい材料に特に役立ちます。また、ウェーハデータスループットと高い生産性を実現する自己完結型の研削/ラッピングチャンバーを備えており、研磨ダストや破片のリスクがありません。スピンドル設計により、高速ウェーハ研削が可能で、最大15,000rpmの速度で300または500mmウェーハを加工できます。ウェハ研削機は、高速かつ効率的な研削プロセスのためのプログラム可能な動きと圧力設定を持っています。また、独立したロードおよびアンロード機能により、サンプルの納期短縮、アプリケーションのカスタマイズ、効率的なデータスループットを実現します。制御ツールは、スムーズなプロセス制御のための簡単なプログラマビリティとデータロギングの収集を提供します。また、高度なヘッドを備えた自動ラッピングにより、さまざまなウェーハサイズや材料で優れた結果が得られ、精密なエッジプロファイリング、ウェーハの薄型化、表面処理が可能です。ウェーハの両面を同時にラップすることができ、正確なラッピングと研磨結果を提供します。AMAT Mirra Mesaは、半導体製造プロセスのための効率的で信頼性の高い研削、ラッピング、研磨モデルです。1台の革新的な機械に速度、効率、精度を組み合わせることで、生産要件を最適化しながら、コスト効率の高いソリューションを提供します。
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