中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9232935 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa
ID: 9232935
CMP System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Wafer Grinding、 Lapping&Polishing Equipmentは、さまざまな高度なウェーハ処理能力を提供する精密ウェーハ処理システムです。AKTとAMATによって開発されたAKT Mirra Mesaユニットは、さまざまなウエハ基板の高精度なラフ研削、ラッピング、研磨が可能です。AMAT Mirra Mesaマシンは、ウェーハの一貫性のある高精度な研削、ラッピング、研磨を保証するために、位置と速度フィードバックループを使用して指定されたサーフェスを正確に特定し、<10アングストロームまでの位置振動を維持し、すべてのサーフェスが等しく接地/研磨されていることを保証する自動プロセス制御ツールを備えています。この資産はまた、すべての重要なプロセスパラメータを継続的に監視する高速デジタルビデオカメラを備えています。Mirra Mesaモデルは、最大8枚のウェーハを保持するシングルプレート設計で設計されており、研削、ラッピング、研磨プロセス全体の熱および機械的安定性を向上させます。自己完結型ハンドポンプは、新たに接地されたウェーハ表面に直接ラッピング圧力を供給しますが、最初は最大5,000rpmのスピンドルを最大10,000rpmまで設定できます。この装置は波形発生器を使用して、指定された深さの切断まで研削、ラッピング、研磨を保証します。APPLIED MATERIALTS Mirra Mesaシステムは、研削、ラッピング、研磨など、さまざまなウェハ加工要件を実行できる信頼性の高い効率的なウェハ処理ユニットです。このマシンはまた、ウェーハとプロセスが一貫していて、汚染がなく、品質基準に準拠していることを保証する、幅広い環境制御と安全機能を備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesaツールは、プロセス制御と自動化機能の向上により、エラーを低減し、ウェーハの歩留まりを改善し、リソースを節約する可能性があります。
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