中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9232538 を販売中
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販売された
ID: 9232538
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
CMP System, 8"
Technology: CMP STI
Platform type: Mirra Mesa
Wafer shape: Flat
Application information:
Application: Oxide
System: Dry in / Dry out
Device type: D-RAM
Device geometry: 0.09 Microns
Process materials:
Polish slurry: STI
Platen 1, 2 & 3 pad: IC1010
Pad conditioner: Diaphragm
Pad conditioner head: DDF3
Pad conditioner holder
Interface options:
Cleaner type: MESA (Converted from Reflexion)
Megasonics
Robot type: AMAT / APPLIED MATERIALS
In situ removal rate monitor: Digital
SECS GEM Interface
Cassette tank
Cassette type: SMIF Type
Installation type: Through the wall
Integrated system basic FABS: FABS 212
Platen and head options:
Polishing head: (4) TITAN I Heads
(4) Retaining rings
Pad wafer loss sensor
Platen surface: Teflon coated
Slurry delivery options:
Slurry delivery: (2) Slurries by peristaltic pump
Slurry flow rate: STD Flow
Slurry flow monitor
Slurry containment bulkhead: Single containment
No slurry loop line
Slurry dispense arm: Extended rinse arm
No slurry leak detector
DI Water
High pressure rinse
Mirra type
Cleaner type: Mesa (Converted from Reflexion)
Fabs type: SMIF Type
Safety equipment:
Red turn to release EMO button: STD
EMO Guard ring
System labels: English
Smoke detector
Umbilicals:
Polisher to controller cable: 30 Ft
Controller to monitor cable: 30 Ft
Factory hookup:
Standard upper exhaust
Upper exhaust connection: 8"
Drain manifold: 4 Line to Fac
Drain adapter: NPT Fitting
No castors for Mirra system
Weight distribution plate (Skid pad)
User interface:
Gray area: Monitor
Cleanroom: Monitor
Class cart for monitor
No class cart for (2) monitors
No class 100 cart for (2) monitors
Stainless cart
Mouse / Trackball: PC Mouse
No hard disk backup
Polisher / Fabs light tower:
Tower mounting type: (4) Lights
Polisher tower: (4) Colors
UPA Water fall
Inter platen clean type with splash guard
Polisher tower colors sequence: RYGB
Cleaner option: Mesa cleaner
Maintenance options:
Single spray gun
No lapping stone
Special options:
No nylon brush
E-Chain teflon sheet: Water fall
No low pressure release water
Spares parts:
Heads
Retaining ring
(2) Pad conditioner heads
Mesa:
Direct chem type:
Megasonic module
Brush 1
Brush 2
Standard:
SRD
Output station
Electrical requirements:
Line frequency: 50/60 Hz
Line voltage: 200~230V
Delta connection
Power lamp: Green
No power connected lamp
Circuit breaker: 200A
AC Outlet box: 100V
No configurable I/O
Wide type GFI: 50mA
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesaは、高性能で低コストのデバイスに対する需要の高まりに対応するために開発されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この機械は、さまざまな表面仕上げ用途に精密で反復可能な結果を提供します。ワークは、ピン留めされた研磨ホイール、ダイヤモンドパッド、または研磨パッドとともに製造プラットフォームにロードされ、アプリケーションに応じて最大12,000rpmの速度でスピンされます。スピンドルは、ワークの表面に引っ張られて押し付けられ、表面材料を徐々に粉砕します。この技術は、ユーザーが材料除去量を制御することを可能にし、製品の一貫性を向上させるためにプロセス全体で均一な表面仕上げを保証します。AKT Mirra Mesaは、デジタル制御システムで設計されており、必要に応じて研削および研磨プロセスを監視および調整するためのさまざまな測定およびフィードバックメカニズムが含まれています。単位はまた工作物が所定の変数に従って処理され、各ステップの後で一貫した終わりおよび表面の完全性を確認することを保障する統合された光学機械を含んでいます。このツールは内蔵のろ過アセットを備えており、ほこりや破片がモデルの内部コンポーネントに流入するのを防ぎ、最適な性能と清潔さを維持します。さらに、AMAT Mirra Mesaは幅広い温度範囲で動作し、あらゆるタイプのワーク材料に適応できます。アプライドマテリアルズMirra Mesaは、表面仕上げの高精度プロセスを求めるメーカーにとって理想的なソリューションです。その統合されたデジタル制御およびモニタリングシステム、調整可能な圧力および温度設定、およびほこりのない濾過システムは、高品質の製品を生産するために不可欠である一貫した反復可能な結果を保証します。
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