中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9231620 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Wafer Grinding、 Lapping&Polishing Equipmentは、シリコンやヒ素ガリウムなどの半導体材料の精密超滑らかな研磨と研削のために構築された汎用システムです。優れた表面平坦性と欠陥低減を実現し、生産スループットの向上と最適なウェーハ平坦性を実現します。AKT Mirra Mesaマシンは、単軸と多軸の両方の精密研磨を可能にするさまざまな運動パワーヘッドを備えた完全自動化ツールです。将来を見据えた設計により、生産チェーンに沿ってユーザー定義のプロセスを実装できる追加のワークモジュールを統合できます。このアセットには、サイクルタイムがわずか10秒、高剛性と精度が最大5ミクロン、位置精度が0。1ミクロンよりも優れているなど、いくつかの画期的なパフォーマンス指標も含まれています。さらに、このモデルには、プロセス温度があらかじめ定義された範囲内にとどまることを保証する統合されたクーラント供給装置もあり、品質と歩留まりを最適化するのに役立ちます。AMAT Mirra Mesaシステムには、危険なプロセス材料からオペレータと環境を保護するためのいくつかの安全機能があります。これらの機能には、ロック可能なインプロセス安全インターロック、ライトカーテン、および両手のセーフティグリップユニットが含まれます。要約すると、ミラメサウェーハ研削、ラッピング&研磨機は、半導体材料の正確かつ高品質の研削と研磨のための優れた性能指標と安全機能を提供する汎用性と強力なツールです。このアセットは、単軸研磨と多軸研磨の両方に使用でき、最高の結果を得るためにプロセス温度を最適な範囲内に保つための統合されたクーラントデリバリーモデルを備えています。