中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9119027 を販売中

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ID: 9119027
CMP system.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Wafer Grinding、 Lapping and Polishing Equipmentは、半導体およびオプトエレクトロニクス業界のウェーハに最高レベルのサブミクロン精度と表面仕上品質を提供するように設計された完全に自動化されたシングウェーハー研磨システムです。半導体ウェーハを研削、ラップ、研磨するために、研削研磨剤を固定した統合プラテンを使用しています。サーボモータで駆動するスピンドルを搭載し、送り込み制御により、精密かつ再現性のある材料除去を実現しています。このユニットはまた、速度、ストローク速度、切断圧力、サイクルタイムなどの粉砕パラメータのプログラミングを可能にするコンピュータ制御マシンを備えています。このツールは、ユーザーが可能な限り最高のウェーハ表面を達成するための高精度制御を提供する高度な設計と構造で設計されています。シリコン、ガリウムヒ素(GaAs)、インジウムリン化物(InP)、その他の化合物半導体材料を含む幅広いウエハ材料の加工に使用できます。さらに、このアセットには、研磨および研磨媒体からの高品質の粒子の最適な研磨と迅速な避難のための真空チャックも含まれています。革新的なデザインにより、AKT Mirra Mesaは優れた性能、信頼性、再現性を提供します。精密ウエハ研削、ラッピング、研磨に最適な機械です。
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