中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9105123 を販売中

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ID: 9105123
CMP system Mirra: Cu process Mesa: B1, B2 Direct feed SMIF Controller.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa装置は、包括的な高度なウェーハ研削、ラッピング&研磨システムです。このユニットは、シリコンと化合物半導体ウェーハの両方の研削、ラッピング、研磨用に特別に設計されています。AKT Mirra Mesaマシンの高度な生産性と性能は、最先端の設計と信頼性の高いウェーハ研削および研磨ツールセットに基づいています。このツールには、高精度で反復可能な性能を提供する3Dイメージングおよび研削ツールのフルレンジが付属しています。AMAT Mirra Mesaの3Dイメージング機能には、高解像度の顕微鏡イメージング、ステレオフォーカス、および高度なフラクショナルパワーグリッドスキャンが含まれます。これにより、エンジニアは複数のウェーハ層を同時に正確かつ正確にイメージすることができます。Mirra Mesaの3Dイメージングツールセットは、さまざまな材料やプロセスのプロセス開発を容易にするためにも使用できます。アプライドマテリアルズMirra Mesaのウェーハ研削ツールセットには、ダイヤモンド研削ホイール、研削プレート、研削ベルト、オートクレーブシステム、およびウェーハ加熱素子が含まれています。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesaアセット内の精密研削盤とラッパーは、非常に少量の材料除去で高精度のウェハエッジを生成することができます。ウェーハラッパー、キャリア、ローディングシステムは、さまざまなアプリケーションで効率的で再現性のあるラッピングと研磨を可能にします。AKT Mirra Mesaモデルは、堅牢で信頼性の高い研磨ツールセットも備えています。これには、イオン補助研磨システムと、さまざまな研磨速度と仕上げを提供する化合物が含まれます。また、研磨ツールを使用すると、自動研磨プログラムを使用することができ、研磨および仕上げパラメータをカスタマイズすることができます。この装置はまた、ウェーハの研磨を正確に制御および監視するために、複数の研磨プロトコルをサポートする機能を備えています。AMAT Mirra Mesaシステムの高度な設計により、正確で反復可能なウェーハ研削、ラッピング、研磨も可能です。高度なウェーハ制御システムとソフトウェアは、研削、ラッピング、研磨プロセス全体をリアルタイムで制御し、効率的で反復可能な結果を提供するように設計されています。結論として、Mirra Mesaユニットは、高度で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。このツールは、高精度で反復可能な性能を提供するように設計されており、包括的な3Dイメージングおよび研削、ラッピングおよび研磨ツールセットにより、正確なウェーハ処理が可能です。APPLIED MATERIALTS Mirra Mesaの高度なウェーハ制御資産とソフトウェアは、精密かつ再現性のあるウェーハ研削、ラッピング、研磨をさらに可能にし、効率的で正確かつ信頼性の高い結果を提供します。
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