中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9104952 を販売中
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販売された
ID: 9104952
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
CMP system, 8"
System: Dry in / Dry out
Process: Cu
Software
Polisher MB60a1
Cleaner CB22p2
Endpoint IB11h7
CPU Pentium III 400MHz
Dual RAID HardDisk Yes
HardDisk Size 68GB
RAM 128MB
Hardware
Polisher /with Controller Mirra 3400 / 5200
Cleaner Mesa
Indexer Rorze FABS SMIF
# FOUP Install: (3)
Metrology None
Slurry(P1+P2+P3) ABCD Each
Endpoint Laser P1 iScan
Endpoint Laser P2 FullScan
Endpoint Laser P3 None
Polisher Middle Skins Opaque
Pad Conditioner type Universal
Platen Coating Teflon
UPA Standard
Chiller No
Com Port Server Digi EL160
Cleaner Brush LDM Direct Feed LDM with entegris flow sensors
Walking Beam PEEK Fingers with PP Grippers
Slurry in CLC Yes
Slurry Arm 4line
Polishing Head Titan I
Rotary Union 4-port
Cross type Cattrack
UPA 3 Port
Megasonics yes
SRD Yes
Brush 1 yes
Brush 2 yes
PM reduction kit
blackout covers
Splash guard
Exhaust blower
Magnehelic Pressure Low Level detection kit
SRD Exhaust Interlock
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesaは、幅広いウェーハ用途で最適な性能を発揮するように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、不均一な表面石を正確に粉砕する高精度の光学研削盤で構成されています。これは、精密かつ反復可能な研削動作を提供する二軸モータ制御ユニットを備えています。このマシンには、クローズドループ応答ツールを提供する超紫色の硬化マシンも装備されています。ウェーハをすばやく正確にラップし、磨くように設計されています。調整可能な電源により、カスタマイズされた結果を得ることができます。一方、真空保護された電子資産は、異物が主な作業領域に入るのを防ぎます。AKT Mirra Mesaは、フラットウエハと輪郭ウェハの両方で優れた表面仕上げと精度を保証します。精密な表面仕上げに貢献する特殊なスピンドル設計を特徴としています。内蔵のクーラントモデルにより、ウェーハの熱損傷のリスクをさらに低減し、高品質な結果を生み出します。さらに、このマシンの二軸モータ制御装置は、振動を最小限に抑えるように設計されており、工具寿命が延びています。全体として、AMAT Mirra Mesaウェーハ研削、ラッピング、研磨システムは、精度と性能を提供します。その高度な冷却技術は、一貫した製品精度を保証します。内蔵の真空保護ユニットは、汚染のリスクを最小限に抑えます。この機械の二軸モータ制御ツールは、振動と工具の摩耗をさらに低減します。その結果、理想的な表面仕上げで、フラットと輪郭の両方のウェーハを正確に生成します。
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