中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9077553 を販売中
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販売された
ID: 9077553
CMP system, 8"
Cross Assembly:
Absolute Encoder Harmonic Drive
(4) NSK Megatorque spindle assemblies with fuse blowing fix
(4) Vexta 5-phase head sweep motors
(4) Cu Titan polishing heads
(3) Platen system with Alpha low-noise gearboxes, Yaskawa motors w/ NEC compliant cables
(3) AMAT DDF3 pad conditioners
Cu Slurry delivery system
AMAT Copper Rinse / Slurry delivery arms
Leak proof polisher skins
Closed loop monitoring features
Fluid reduction package
Input voltage: 200-240 VAC 50/60 Hz
Integrated Mesa cleaner:
Wafer sense transfer station
Single wafer machined (leak proof) Megasonic tank
Vertical spin rinse dry station
Flow monitoring on all cleaner chemical and DI flows (On/off)
Edge grip automation
Side feed facilities and exhaust
Mesa power supplied by Mirra controller
Line of sight top cover between Mesa and Mirra
Digital ISRM monitor integrated into the polisher (all 3 platens) with:
Full face HW/SW capability and dual optical ISRM / iSCAN ISRM in platen 1
Missing parts.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesaは、高精度の半導体デバイス製造とプロセス開発のために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ウェーハ表面を精密に仕上げるための様々なツールを搭載し、リアルタイムプロセスモニタリング用の統合プロセスコントロールユニットを備えています。また、ウェーハの自動ロード/アンロード、プロセスシーケンス制御の自動化、電気テストの統合などの高度な機能も備えています。AKT Mirra Mesaツールは、最大200mmのサイズのウェーハを研削、ラッピング、研磨することができます。また、電気合成、欠陥除去、表面平面化、片面および両面研磨など、さまざまなプロセスレシピを提供しています。この資産は、正確な結果を保証するために、圧力、速度、温度などのプロセスパラメータを制御および監視することができます。安全機能を内蔵した自動ウェーハハンドリングモデルと、自動ロータリーウェーハテーブルを搭載しています。AMAT Mirra Mesaは、高度な画像処理、ビジョンアシストパターン認識、および正確なウェーハ表面評価のための計測ツールを備えた高精度ビジョンシステムも備えています。このユニットは、プロセス全体の精度と再現性を完全に制御します。それはまた洗浄プロセスの供給そして圧力の率を制御することができます。機械は操作の間にオペレータおよび用具の安全を保障する高度のソフトウェアおよび安全特徴が装備されています。また、リアルタイムプロセスデータ収集などの高度なプロセス制御および監視機能も備えています。この資産は、CE、 UL、 CSAなどのさまざまな安全基準に準拠しています。また、優れた技術サポートとサービスをお客様に提供するというAKTのコミットメントに裏打ちされています。要約すると、Mirra Mesaは半導体産業の性能要件を満たすように設計された高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。精密な表面仕上げのためのさまざまなツールと、統合されたプロセス制御システムと高度なビジョンシステムを提供しています。それはさまざまな安全基準に迎合的で、顕著なテクニカルサポートおよびサービスを顧客に与えます。
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