中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9075137 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesaウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、最大ウェーハ径200mm、最大ウェーハ厚6。5mmの多機能システムです。この自動化ユニットは、廃棄物の発生を最小限に抑えながら、高性能と高精度を必要とするアプリケーションに最適です。このマシンは、ウェーハの回転速度を制御する調整可能なドライブホイールを備えた単一の基板サポートで構成されています。基板サポートは、研削、ラッピング、研磨工程で基板の正確な3次元位置決めを可能にするリニアモーションステージでサポートされています。また、加工チャンバの清浄度を維持しながら、ウェーハから研削材を除去するエクストラクターを装備しています。アセットは、最大35,000RPMの速度範囲で、平らなウェーハと半径のウェーハを研削、ラッピング、研磨することができます。高度なダイナミックロータは遠心力を使用して、研削サイクル全体にわたって研磨媒体に適切な研削力を適用し、基板表面から均一な材料除去を保証します。このモデルはまた、特殊用途に使用できる2つの研磨ヘッドを提供しています。最初のヘッドは一般的な研磨用に設計されており、最大10,000RPMまで使用できるエアジェット洗浄装置を内蔵しています。2番目のヘッドは、より良い仕上げとより良い材料除去のための高解像度ポリッシャーです。また、プロセス時間、研削力、研磨粒度などのリアルタイム情報を提供する高度なプロセス監視機能も備えています。これは、無駄を排除し、高品質の結果を確保するのに役立ちます。さらに、このユニットの高度なオートメーション機能により、半自動プロセスが可能になり、オペレータの関与を減らし、より大きなプロセス制御を提供します。全体として、AKT Mirra Mesaウェーハ研削、ラッピング、研磨機は、精度と信頼性を必要とするアプリケーションに最適なソリューションです。このツールのダイナミックロータ、高解像度オプトエレクトロニクスセンシング機能、および高度なオートメーション機能はすべて、その高性能と精度に貢献します。一方、高度なプロセスモニタリング機能は、無駄を最小限に抑え、一貫して高品質の結果を保証します。