中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #293795368 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesaは、低チップ数を維持しながら、優れたシンギュレーションと表面仕上げを実現するように設計された自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ウェーハとウェーハサイズの基板の両方の処理が可能なシステムで、ロボットハンドラと真空ピックとプレースユニットを備え、ウェーハアライメントと自動マッピングを可能にします。また、CCDイメージングツールを内蔵しており、ウェーハ表面を分析して欠陥を特定し、アダプティブオプティクスとカスタマイズ可能なラッピング/ポリッシングパラメータを備えています。アセットにはワンステージラップ加工を施し、各種ウエハにサブミクロン表面仕上げを実現しています。また、マルチゾーンラッピング/研磨プラットフォームを備えており、複数のウェーハを最高精度で同時にラップ/研磨することができます。この装置は、立体的な輪郭、エッジからエッジまでのウェーハラップ、中央から中央までの研磨を組み合わせて使用し、優れたシンギュレーションとラッピング面の最適化を実現しています。このシステムは高トルクモーターで駆動され、非金属および金属ウェーハの両方を処理できます。AKT Mirra Mesaユニットは、効率と精度を最大化するための高度なプロセス制御のためのいくつかの機能も提供しています。インライン真空、モータ制御、プロセスフィードバック、温度センシングなどのプロセス監視が含まれます。このマシンは、Web監視および遠隔トレーサビリティツールと統合されており、リアルタイムのデータ収集と分析を可能にします。また、簡単なプロセス最適化のための高度なレシピエディタを備えています。このツールは、1〜8インチのウェーハおよびウエハサイズの基板を最大500rpmの速度で処理することができ、光ディスプレイやフラットディスプレイなどのアプリケーションに適しています。このアセットには、キャリーオーバーと汚染を排除するための汚染防止設計と、さまざまなプロセスと機器の安全機能も含まれています。このモデルはユーザーフレンドリーで高度に自動化されているため、さまざまな業界での使用に適しています。高度な性能と信頼性を備えたAMAT Mirra Mesaは、市場で最高のウェーハ研削、ラッピング、研磨システムの1つです。