中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #293627305 を販売中
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ID: 293627305
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
CMP System, 12"
Copper processing system
(4) Two line peristaltic pumps
(2) Slurry arm left arms
No polishing heads
Wet robot:
Wafer handler
Eject vacuum
Missing parts:
Controller boards
(4) UPA Zone
UPA Rotary union
HCLU
Upper and lower platens
Mega brush
Mega generator and chemical vessels
Brush:
Pressurised vessels
(4) Vessels
Qty / Part number / Description
(1) / - / Megasonic RF Generator
(4) / - / Cleaner mega, brush1 and 2 chemical vessels
(4) / 0010-03697ER / Head sweep motors
(1) / 0010-37905 / i-Scan Endpoint
(2) / 0010-77428 / Assy, teflon coated upper platens
(2) / 0020-77924 / Bearing retainers
(4) / 0020-79068 / AMAT Brackets
(4) / 0021-77866 / Clamp drive spindles
(4) / 0021-77867 / Plate adapter motor spindle flex clamp kits
(1) / 0021-78095 / Manifold-II series valve, UPA Assy
(1) / 0021-78097 / Manifold-I valve, UPA Manifold assy
(1) / 0040-77085 / Lower platen
(4) / 0040-77461 / Spindle assys
(4) / 0090-06473 / Assy, wafer loss sensors
(4) / 0090-07553 / Assy, wafer loss sensors
(4) / 0090-77262 / UC Pressure tranducerassys
(4) / 0090-77263 / IC Pressure transducers -14.7 to 10
(4) / 0090-77297 / PP Pressure transducers -14.7 to 10
(4) / 0090-77298 / RR Pressure transducers -14.7 to 15
(4) / 0100-77043 / Dual slip out sensor boards
(4) / 0140-77491 / Cables, ER-44
(4) / 0140-77492 / Cables, ER-46
(4) / 0140-78202 / Cables, head pneumatic ER-45, UC
(4) / 0140-78203 / Cables, head pneumatic JD-SV43, SV45
(4) / 0140-78204 / Cables, head pneumaticjd SV43, SV43, SV45
(4) / 0140-78205 / Cables, head IC/IT JB-SV-46,47, SV43, SV45
(4) / 0140-78258 / Cables, head pneumatic EC/PP JA-SV-42, SV44
(4) / 0140-78261 / Cables, head pneumatic ER-42, EC/PP
(1) / 0140-03497 / Cables, platen 2 encoder
(4) / 0190-77116 / Flexible disks
(2) / 0240-77490 / Platen motors
(4) / 0760-01037 / CPLG Union rotary 4-port
(3) / 3870-02365 / Valve modules 8-PNEU
(1) / 3870-02366 / Valve module 8-PNEU
(1) / 0010-77157 / Load cup
(4) / 0190-14344R / Head rotation motors
(4) / 0190-14344 / NSK Driver, mega torque, with motor
(2) / 0190-14502 / MEI Motion control boards
(6) / 0190-14372 / DRVR Servopacks AC SGD, Power supply: 200 V, 100 W
(1) / 0190-19549 / Card P-M 1.6GHZ 512MB RAM VME Bus single
(1) / 0190-42525 / Network port server, EL160 (16) Channels, with PWRSP Power supply: 100-250 V AC, 50/60 Hz
(1) / 0100-01793 / PCB Assy, i/o interface board with COM
(3) / 0140-04819 / Cable bulkhead platenisrms
(1) / 0140-75170 / AMAT Head ROT 3 and 4 MP3-DVR 4 and 5
(1) / 0650-01088 / Transmitter
(2) / 0870-01013 / VEXTA Head Sweep drivers, 5-Phase
(4) / 1080-01166 / VEXTA Robot Z-W-S stepping motors, 2-Phase
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Equipmentは、高精度、再現性、スループットを実現するために開発されたウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。このユニットは、面粗さと平坦性を向上させながら、欠陥を最小限に抑えるように設計されています。MA/ATは、手動構成と完全自動構成の両方で利用でき、ユーザーのニーズに応じて柔軟性と拡張性を実現します。AKT Mirra Mesa Machineは、一連の圧力および研削工具と化学および物理プロセスを使用して、望ましいウェーハ仕上げを実現します。このツールは、4軸の動きを利用して、ウェーハ表面全体の同時研削とラッピングを可能にし、速度と効率を向上させ、コストを最小限に抑えます。また、MA/ATは圧縮空気を使用して研磨材を調節し、不要な粒子を排除します。AMAT Mirra Mesa Assetは、プロセスを改善し、最適な結果と一貫性を確保するための粒子計測技術を組み込んでいます。これらの技術は、研磨材料のサイズ、形状、硬度、および接触角を含む粒子のパラメータを測定します。これらの指標を測定することにより、MA/ATはプロセスを適切に調整し、最高の仕上がりとウェーハ品質を保証します。アプライドマテリアルズMirra Mesaモデルは、ユーザーのニーズに合わせてカスタマイズできるモジュラープラットフォームに基づいています。また、ウェーハサイズや厚さの設定も可能です。システムはインストールが簡単で、メンテナンスが容易な設計で、稼働時間の増加と運転中のダウンタイムの短縮を可能にします。ミラメサユニットはまた、ほこりのない作業環境を提供し、高価なクリーンルームの必要性を排除します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Machineは信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング&研磨ツールであり、最高品質のウェーハを生成する高速化、自動化、精度を可能にします。高度な粒子計測技術、モジュラープラットフォーム、メンテナンスの容易さにより、幅広いウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。
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