中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 3400 #9262475 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS Mirra Mesa 3400は、ウェーハレベルの製造のスループットと品質を向上させるために設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、1つのプロセスチャンバー内で最大18インチウェーハを処理することができます。このユニットは、高精度の2軸ラッピング、平面化、研削、およびウェーハ洗浄を提供します。AMAT Mirra Mesa 3400は、環境に配慮した防水クローズドループRobostop™機を搭載しています。このツールは、手動での介入を排除し、手動研磨プロセスに関連する高価なダウンタイムの必要性を低減します。さらに、このアセットは完全に密閉されたロボットアームを備えており、ポリッシングチャンバー内にウェーハをキャプチャ、転送、配置することができ、プロセスを正確に制御できます。このモデルは、圧力、スロットル、研磨速度などの変数を正確に制御します。この装置は、高慣性サブミクロンのラッピングプレートを備えており、正確なパターン登録と仕上げ制御を可能にします。このプロセスチャンバーは、チラーを内蔵したアクティブ冷却機能を備えており、研磨後にウェハをすばやく冷却するのに役立ちます。また、ビジョンセンサを介した統合部品識別と、完全なトレーサビリティを提供する製造プロセスデータベースも提供します。アプライドマテリアルズMirra Mesa 3400は、大量のウェハ製造アプリケーションで使用するために設計されており、1時間あたり40以上のウェハを処理することができます。このユニットは、ステンレス製のベースフレームから構成されており、正確なレベリングと簡単なメンテナンスが可能です。さらに、このマシンはプログラム可能なモーションコントロールを提供し、ロボットポジショナーとプラテンの正確な動きを可能にし、均一なラッピングと研磨を保証します。このツールは、半導体およびMEMSウェハメーカーの厳しい要件を満たすように設計されています。このアセットは、ユーザーフレンドリーな操作と直感的なソフトウェアを提供し、長いセットアップ時間と長い学習曲線の必要性を排除します。Mirra Mesa 3400は、高いスループット、卓越したパフォーマンス、および正確なウェーハ搬送とプロセス制御を提供します。