中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra DNS #9263082 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra DNS
販売された
ID: 9263082
ウェーハサイズ: 8"
CMP System, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra DNSは、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、拡大するアプリケーション範囲をサポートするための柔軟性と機能を強化することにより、半導体業界のニーズに対応するように設計されています。このユニットは、直径8インチまでのウェーハの自動研削、ラッピング、研磨のための短いサイクル時間、高スループット、および精度が可能です。機械は精密なウエハ制御および円滑な操作のための高度なプロセス制御と設計されています。AMAT Mirra DNSは、高性能な研削、ラッピング、研磨機能を提供します。このツールは、研削とラッピングのための2つのサブアパーチャと、単一の研削および研磨モジュールに適合しています。サブアパーチャは、より高いレベルのプロセス制御を可能にし、ウェーハの平面化とエッジ品質を向上させます。研磨モジュールは、単一点加工方法と同様に、表面粗さや均一性など、プロセス全体で研磨条件を調整することができます。この資産は、堅牢なプロセス機能と厳格なプロセス制御によって設計されています。APPLIED MATERIALTS Mirra DNSは、最大100マイクロメートルの厚さで最大8インチの直径のウェーハに対応できる、完全に自動化されたローディングとアンロードのウェーハエレベーターを備えています。このモデルは、高速サーボ駆動の粉砕および研磨フィード装置を提供し、滑らかで正確な材料除去を確保するために、自動表面制御とエアベアリングを備えています。このシステムは高度なオートメーション機能を備えています。これにより、複数のプロセスプログラムを迅速かつ正確に設定できます。Mirra DNSは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を使用して、研削、ラッピング、研磨プロセスをリモートで監視および制御できます。また、GUIはユーザーにリアルタイムのウェーハパラメータを提供し、最適なプロセスサイクルと最適なウェーハ品質を保証します。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra DNSは、堅牢で高スループットのプラットフォームで設計されており、最高のウェーハ品質と生産性を提供します。このユニットは、ダイレクトドライブモータとプログラマブルモーションを使用して、詳細なウェーハ制御を提供し、ウェーハスループットを確保します。自動化された機械は、ユーザーがコスト効率の高い方法で高いレベルの精度と均一性を達成することができます。AMAT Mirra DNSは、コスト削減と効率向上に努める半導体企業にとって不可欠なプロセスです。
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