中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra / AS 2000 #9293819 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra/AS 2000ウェーハ研削・ラッピング・研磨装置は、AMAT、 Inc。が開発・製造した大規模な自動生産機です。半導体、医療、研究機関向けに設計されており、さまざまな形状や材料のウエハを高速で研磨・研磨することを目的とした汎用性と強力なユニットです。このシステムは、メインタッチスクリーンコンソールと研削/ラッピング/研磨ユニットの2つの主要コンポーネントで構成されています。これらの両方のコンポーネントは高速産業ネットワークを介して通信し、高速かつ効率的な操作を可能にします。メインのタッチスクリーンコンソールは、ユニットの脳であり、研削/ラッピング/研磨プロセスを制御するさまざまなプログラムが含まれています。プロセスマップをアップロードし、ユニットのパラメータを設定するためのユーザーフレンドリーなインターフェイスが含まれています。レシピライブラリも装備されているので、将来の使用のために必要な変更を簡単に入手して保存することができます。研削/ラッピング/研磨ユニットは、機械の実際の作業部品です。各スピンドルには、最大12インチ（300mm）のウェーハに対応できる個別のモーター付きスピンドルがあります。ユニット上のモーターは、所望の速度とパワー設定に個別に調整可能であり、最短時間で所望の結果を達成するために。さらに、水冷式の砥石、精密ラッピングホイール、円筒形または円錐形のポリッシュホイールが含まれています。研削/ラッピング/研磨プロセスには、3つの主要な段階があります。まず、クランプにウェーハを取り付け、研削ホイールを使用して、ウェーハ素材を中間形状まで粗く研削します。ラフ研削が完了したら、ラッピングホイールを使用して研削面を仕上げ、欠陥を最小限に抑えて表面全体に均一な仕上がりを作り出します。最後に、研磨ホイールは表面を研磨して、望ましいレベルの反射度、透明度、滑らかさを達成します。全体として、AMAT Mirra/AS 2000ウェーハ研削、ラッピング&研磨ツールは、迅速な生産環境で高品質のウェーハ表面を生成することができる汎用性の高い、強力で効率的なツールです。これにより、最大12インチ（300mm）のウェーハを高精度かつ高精度で研磨・研磨することができます。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス、精密切断および研磨ツール、および自動化されたプロセスにより、このマシンは無駄を最小限に抑えて高い再現性を提供します。