中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra / AS 2000 #9293802 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra / AS 2000
ID: 9293802
CMP System Profiler head Titan head.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra/AS 2000は、半導体メーカーがマイクロエレクトロニクスウェーハ上で超精密なナノスケール機能を製造するために使用するハイエンドのウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。AMAT Mirra/AS 2000は、精密研削、ラッピング、研磨技術を独自に組み合わせ、優れた表面仕上げとクリティカルな寸法制御を実現しています。システムのモジュラー設計は、卓越した柔軟性とスループットを提供し、ユーザーは特定のニーズに合わせてユニットをカスタマイズすることができます。APPLIED MATERIALS Mirra/AS 2000は、オペレータの相互作用を最小限に抑え、正確な結果を提供するように設計された堅牢な研磨および研磨ヘッドを備えています。ヘッドは、さまざまな研磨材、ダイヤモンドホイール、またはさまざまな用途に適したラッピング/研磨コンパウンドで構成することができます。ヘッドには、スラリー液体を制御するための統合コーター/ハイドロサイクロンを装備することもできます。高精度のサーボ駆動型ウェーハキャリアにより、プロセスのシームレスな制御と精度を実現し、ビジョンユニットを使用してウェーハ表面のリアルタイム測定を行います。ウェーハ追跡機などの高度な自動機能により、ユーザーは生産過程を通じてウェーハを追跡および監視することができます。Mirra/AS 2000には統合プロセス制御ツール(IPC)も含まれており、ユーザーはアプリケーションのプロセスを最適化することができます。IPCはインテリジェントプロセスエージェントとして機能し、設定されたセットポイントと検出されたウェーハ信号に基づいてパラメーターを自動的に調整します。さらに、アセットの高速サイクルタイムと直感的なユーザーインターフェイスにより、手動でのチューニングと監視が不要になり、運用コストが削減されます。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra/AS 2000は、半導体メーカーに最先端の技術と卓越した精度を提供します。モジュール設計と統合されたオートメーション機能により、ユーザーはコストを削減し、最も困難なアプリケーションでも歩留まりを向上させることができます。
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