中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9277696 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400は、高度な半導体デバイス製造用に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための高スループットで効率的で信頼性の高いソリューションをメーカーに提供するように設計されています。このユニットは、同期と非同期の両方の複数のスピンドル構成をサポートし、さまざまな研磨剤と研磨パッドを使用しています。AMAT Mirra 3400はモジュラーアーキテクチャを備えており、各モジュールは特定のアプリケーションに最適化されています。マシンの主なモジュールには、スピンドル、ベルト、ポンプ、およびウェハチャックアセンブリがあります。スピンドルには複数の高トルクダイレクトドライブモータが搭載されており、研削、ラッピング、研磨プロセスを正確に調整および制御できます。ベルトツールは、材料に関係なく、一貫した結果を保証するために振動と屈曲を低減するように設計されています。ポンプアセットは工具ヘッドにクーラントと研磨剤を供給し、ウェーハチャックアセンブリはウェーハに均一な熱と圧力の分布を維持します。APPLIED MATERIALTS Mirra 3400は、PCベースの生産制御を統合した高性能オートメーションも備えています。この統合されたPCは、プロセスパラメータの調整、機器の状態の監視、生産データの収集など、モデルのハードウェアとソフトウェアの制御を可能にします。また、さまざまなサードパーティのシステムやコントロールと統合され、さらなるカスタマイズオプションを提供します。システムの高精度サーボモータは、優れた粒子制御と動的プロセスを提供し、完全にプログラム可能なプロセスレシピにより、即時の起動とランタイムの向上を実現します。さらに、Mirra 3400は、コンパクトで人間工学に基づいた設計と堅牢な構造を備えており、長期的な繰り返し使用のために簡単なメンテナンスと信頼性を確保します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALTS Mirra 3400は、高度にカスタマイズ可能で効率的なウェーハ研削、ラッピング、および研磨ユニットで、最新のデバイス製造の最高水準を満たすように設計されています。これは、ユーザーに高度なオートメーション、プログラム可能なレシピ、および毎回優れた結果をもたらす継続的なパフォーマンスを確保するための信頼性の高いプラットフォームを提供します。