中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9276039 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400は、高精度のメモリと磁気デバイスのパターンを提供する専用ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。それは精密に個々のウェーハまたはウェーハのバッチをきれいにし、磨くように設計されています。このシステムは、低圧、高圧、温水および冷水封じ込めユニットを使用して、最大の効率を達成します。AMAT Mirra 3400は、ウェーハ準備ステーションとラッピングおよび研磨サブシステムの2つの主要コンポーネントで構成されています。ウェーハ準備ステーションは、ラッピングおよび研磨機で処理する前に、ウェーハをきれいにし、脱着し、システム化するために使用されます。これには、脱脂液、研磨材、真空ツール、およびウェーハを損傷から保護するためのマスクが含まれます。ラッピングと研磨サブシステムには、ウェーハを準備ステーションからダイヤモンドラッピングディスクに移動するユニークな多軸ロボットアームが含まれています。ロボットアームは、ウェーハを正確に配置することができ、ウェーハがプロセス全体で一貫した曲率半径を維持することができます。その後、ウェーハをダイヤモンドラッピングディスクに固定し、均一な表面仕上げでウェーハを回転させます。ダイヤモンドラッピングディスクを研磨ステーションに移動し、ウェーハにさらなる洗浄と研磨を施します。研磨ステーションは、目的の仕上げと表面プロファイルを達成するために、一連の特殊な研磨液と研磨媒体を利用しています。望ましい表面仕上げが達成されると、ウェーハはオプションで後処理ステーションまたはエッチングステーションに移動することができます。ラッピングおよび研磨アセットは、異なるウエハサイズに調整することができ、シリコン、アルミニウム、サファイア、セラミックなど、さまざまなウエハ材料を処理することができます。アプライドマテリアルズMirra 3400は、迅速かつ効率的で包括的なウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスを提供する信頼性の高い高精度モデルです。メモリおよび磁気デバイスの製造およびパターニングに最適なソリューションであり、高品質で一貫した表面仕上げを行うことができます。