中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9272624 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400は、さまざまなウエハサイズや基板に対応できるように設計されたウエハ研削、ラッピング、研磨装置です。高度な設計により、簡単で効率的な操作が可能で、厳しい生産環境に適しています。このシステムには、基板表面から材料を除去するために、化学機械平坦化（CMP）を使用した高度なラッピングプロセスが装備されています。この方法により、表面粗さを低減し、ワークの平面性を向上させることができます。ダイヤモンドやアルミナ研磨など、さまざまな研磨工程にも使用できます。これにより、表面の均一性を高め、ウェハ表面の接着性や耐摩耗性を向上させることができます。AMAT Mirra 3400はクローズドループユニットを中心に設計されており、処理中にウェーハを安全に保つために高効率クランプ機を使用しています。これにより、ウェーハの手動積み降ろしが不要となり、ワークピースの紛失や汚染の可能性が低減されます。さらに、自動制御ツールを備えており、資産が最適なパフォーマンス状態で稼働していることを確認するのに役立ちます。このモデルには、プロセス材料やオペレータを損傷するリスクなしに安全に実行されていることを確認するためのさまざまな安全機能が装備されています。たとえば、APPLIED MATERIALTS Mirra 3400には、安全ロックとアラーム機器が統合されており、オペレータによるインターロックシステムも備えています。また、インパクトセンサーユニットを内蔵しており、通常の作業パラメーターの外で機械が動作していることを検出し、それに応じてオペレータに警告することができます。さらに、Mirra 3400は、ラッピング工程中のウェーハの厚さをリアルタイムで正確に測定することも可能です。これにより、オペレータは許容差と仕様をよりよく満たすためにプロセスを修正することができます。最後に、このマシンは既存の生産ラインに簡単に統合できるように設計されており、パートナーシステムとのシームレスな統合が可能です。