中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #293821085 を販売中
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ID: 293821085
ヴィンテージ: 1999
CMP System
CPU: Pentium 1
Head: TITAN 1
Padcond: DDF3
UPA: Standard
LoadCup: Full contact
Head rotation motor: NSK
1999 vintage.
アプライドマテリアルズMirra 3400は、幅広いアプリケーションに精度と性能を提供するように設計された次世代ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、革新的な設計機能、高度なプロセス制御およびオートメーション技術を使用して、手動による介入を大幅に削減して、一貫した再現可能な結果を保証します。Mirra 3400のウェーハ加工プラットフォームは、ウェーハを機械の内外に供給するためのインフィードとアウトフィード、ウェーハビンの読み込み、ソート、アンロードのためのビンリフトマシン、および精密な結果を得るために研削やラッピングを含む精密なウェーハ制御を可能にするモーション、キャリッジおよびペデスタルドライブツールを備えています。また、Digital Time Interval LCDタッチスクリーンインターフェイスも備えており、プロセスの自動化を完全に制御できます。アプライドマテリアルズMirra 3400は、高速デュアルスピンドル設計、サンプル/再循環ポンプ、真空センサおよび冷却資産、およびレシピベースのバッチ制御ソフトウェアも備えています。この統合設計により、精密な研削、ラッピング、研磨プロセスの制御が可能になり、手作業による介入を減らすことで高精度なプロセス結果を提供します。Mirra 3400は、モーションコントロール、モーションセンシング、プロセス固有のアルゴリズムなどの高度なオートメーション技術を使用して、モデルの加工性能を最適化し、高精度のプロセス結果を達成し、研磨材料の無駄を最小限に抑えます。また、事前にプログラムされたレシピ、データロギング、プロセスパラメータ表示、カスタマイズ可能な言語設定、リアルタイムプロセス監視などの優れたオペレータフレンドリーなツールを備えており、シンプルで簡単な操作が可能です。APPLIED MATERIALS Mirra 3400は、独自のデュアルスピンドル設計によりプロセス時間を短縮し、幅広いアプリケーションで再現可能なウェーハ特性を実現し、ウェーハのデリケートな損傷リスクを大幅に低減します。さらに、このシステムは安全でクリーンな動作環境を提供するように設計されており、直感的で人間工学に基づいた設計により、あらゆる実験室や生産環境での作業に適しています。APPLIED MATERIALSのMirra 3400は、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットで、最高の効率と最小限の手動介入で一貫した反復可能な結果を提供します。高性能な機能、統合されたオートメーション技術、直感的な設計により、精密加工プロセスで正確で信頼性の高い結果を達成するための理想的なソリューションです。
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