中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1 #9114847 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、高度な半導体研究および試験/生産アプリケーションを容易にするために、ウェーハ表面幾何学的パラメータの精密制御を提供します。このシステムは、複数の軸に沿ったモーター駆動の全範囲を誇り、8インチまでのサイズの最終的な平面化されたウェーハを製造することができます。AMAT Mirra 3400 Titan 1は、ウエハベルトユニットを内蔵しており、高精度な振動のない光学テーブルで設計されています。それは機械の機械部品によって導入される妨害を償いながら精密な動きを容易にするように設計されています。APPLIED MATERIALTS Mirra 3400 Titan 1は、超滑らかな表面地形基準を満たすために研磨を含む高精度の精密ラッピングおよび研磨プロセスが可能です。それは高速および精密な動き、動的力制御および優秀なプロフィールの制御可能性のためのブラシレスサーボモーターが装備されています。エンベデッドマシンビジョンカメラは、ウェーハエッジを自動的に検出してウェーハ間の正確な処理を行います。組み込みマシンビジョン機能には、自動ウェーハの向きのパフォーマンス、生産プログラムに適合するためのセンターとアウトリアーウェーハの識別も含まれます。このツールは、アセットの熱安定性を確保するために温度補償された硬質鋳造アルミ合金ベースで構成されています。この特徴はまた目標とされた熱伝導性および改善された音減衰を促進します。Mirra 3400 Titan 1には、プロセスパラメータを監視し、ラッピング/研磨速度、方向、結果を正確に制御する高度なタッチスクリーン制御モデルが備わっています。また、クリーニング要件とダウンタイムを最小限に抑えるように設計されています。ウェーハの効率的な搬送、操作、取り扱いには、油圧研磨ヘッドを使用しています。システムには、ユニットからの熱を分散させ、空中汚染を低減する温度排気フードが装備されています。さらに、密閉された作業室をろ過して加圧し、空気中の汚染物質の逃避を防ぎます。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1ウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットの高度な設計により、研究および生産アプリケーションにおける洗練された効率的なウェーハ表面処理を提供します。高度な半導体加工に最適なソリューションで、ノイズや汚染を多く含むことなく、ウェーハの正確なラッピングと研磨を可能にします。