中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mesa #9295107 を販売中
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ID: 9295107
ウェーハサイズ: 8"
CMP Cleaner, 8"
Main power box, 12"
Lower electronic:
Mega
System
(2) Brushes
SRD
Mega LDM
Brush module:
Brush bath
Brush OP / Cis Cylinder
Sensor type
Motors
Brush LDM Direct type:
Valves
LDM Box and slide
SRD Module:
SRD Bath
Motor
Megasonic generator
Mega heater
Fan filter unit
Walking beam
Cover door pin and Interlock switch
Other sensors:
Wafer present sensor
Level sensor
Leak sensor
OP Sensor
CLS Sensor
Air fitting:
Lower electronic air tubing assy fitting
Check air fitting
Cables:
Walking beam lower electric cable
Brush lower electric cable
SRD Lower electric cable.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mesa装置は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスの高精度、高スループット処理を提供し、最高レベルの精度と再現性を提供します。このユニットは、複数の研削、ラッピング、研磨、およびポストエッチングクリーニング操作を1つのパスで実行するように構成可能であり、さまざまなタイプの半導体および太陽光発電ウェハをさまざまな形式で処理するのに理想的です。AMAT Mesa機械は精密工学アルミニウムフレームの多段磁気ジンバルのテーブルを使用します。これにより、各テーブルが正確に校正され、一貫した信頼性の高い研削、ラッピング、研磨プロセスが可能になります。このツールは、ウェーハサイズの広い範囲を扱うためにテーブルを最大限に使用することを可能にするロープロファイル設計を備えています。アプライドマテリアルズMesaアセットは、研削、ラッピング、研磨パラメータの正確な設定を可能にする使いやすいコントローラも備えています。Mesaモデルは、オペレータの安全性を向上させるための多数の安全機能も備えています。これらの機能には、オペレータ監視用の標準ビデオカメラ、信号ビジョンが含まれているため、オペレータは現場外の場所からプロセスを監視し、安全でない状態が検出された場合は信号アラートを監視できます。この装置はまた、テーブルの速度を制限するだけでなく、ラッピングと研磨作業が進行しているときのトルク移動を制限する能力を持っています。これにより、材料が安全かつ安全に取り扱われるようになります。AMAT/APPLIED MATERIALS Mesaシステムは、プリセット操作パラメータを可能にし、パラメーターのカスタムレシピを可能にするZ-CT063として知られている専門ソフトウェアで動作します。これにより、各操作が一貫して正確に実行されます。AMAT Mesaユニットで利用可能なその他の高度な機能は、プロセス監視に関連しています。これには、プロセスの一部として行う必要があるクリーニングの量を削減するのに役立つリバースクリーニング機能が含まれます。APPLIED MATERIALS Mesaは全体的に、ウェーハ研削、ラッピング、研磨作業に理想的なソリューションです。そのモダンなデザイン、使いやすいコントロールと数多くの安全機能は、半導体や太陽光発電産業のための優れた選択肢になります。
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