中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mesa #293614950 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Mesaは、ウェーハやその他の半導体材料の製造、研削、ラッピング、研磨に使用される自動クローズドループ、ロボット機器です。最新のin-situプロセス制御技術を搭載しており、ステップとリピートのプロセス形状を最適化し、最高レベルの精度と再現性を保証します。このシステムは、さまざまな基板タイプ、形状、サイズのウェーハを処理するように設計されています。このユニットには、高度なロボットコントロールマシンだけでなく、複数のモーションアックスとウェハハンドリング用のロボットアームが装備されています。制御ツールは、ラッピング、研削、バッフィング、研磨など、さまざまな表面処理操作をプログラムするために使用できます。ロボットアームはラッピングブロック上にウェーハを配置し、個々のウェーハの正確かつ再現性の高い位置決めを可能にします。また、ソーラーセル検査ステーションを備えており、ウェーハエンゲージメント前に各処理されたウェーハに欠陥がないことを確認します。また、装置の能力を最大限に活用するための基板搬送および積載モデルも提供されています。ロボットコントローラおよび基板輸送システムは、光検査、電気抵抗試験、熱画像システムなどの他の自動システムと統合することができます。また、ウェハラッピング、バッフィング、研磨ステーションが付属しており、ラッピングストーン、研磨剤、作業製品をユニットの多軸ロボットアームを介してロードおよびアンロードすることができます。このステーションは、多種多様な研磨面を生産することができ、特定のプロセスのニーズに合わせてカスタマイズすることができます。この機械は環境チャンバーと接続することができ、制御された、汚染のない大気中のウェーハの処理と検査を可能にします。このツールの汚染制御メカニズムには、環境チャンバーの使用、温度と湿度の監視と制御、および粒子カウントが含まれます。さらに、アセットの真空モデルはチャンバーを避難させることができ、低い汚染環境を確保します。AMAT Mesa装置は、ウェーハおよびその他の半導体材料の製造、研削、ラッピングおよび研磨のための信頼性の高い高度なシステムです。その洗練されたロボットコントロールユニットは、個々のウェーハの再現可能なカスタマイズされた処理を可能にし、その包括的な汚染制御メカニズムは、最高品質のウェーハのみを製造することを保証します。