中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Counter head for Reflexion #293667549 を販売中

リフレクシオンウェーハ研削、ラッピング、研磨装置AMATカウンターヘッドは、ウェーハの高精度な高速研削、ラッピング、研磨をユーザーに提供するように設計されています。CounterheadはReflexionの中心機械と同時に効果的にプロセスを導き、制御するために使用されます。カウンターヘッドアセンブリは、ウエハラップ、研削、研磨プロセスに必要な機能を提供するためにシステムと統合された4つの電動軸で構成されています。カウンターヘッドは、Y軸とX軸の2つの主要な電動軸を採用しています。Y軸は単位のフレームに取付けられるモーターを備えられた線形動き軸線です。これにより、ラッピング操作に必要な線形移動が容易になります。この同じ軸は、研削と研磨プロセスのためにそれを配置するために、ウエハの上にスピンドルを移動します。X軸は主軸を操舵して支える操舵軸で、微細な研削・研磨作業に必要な精度を提供します。カウンターヘッドには、2つの主電動軸と組み合わせて使用される2つの追加の電動軸も備えています。この2つの軸は、ロータリー軸とピッチ軸として知られています。ロータリー軸は、研削/研磨スピンドルの連続回転を可能にする電動回転運動軸です。これは、研磨工程中のウェーハ表面の均一性を達成するために不可欠です。ピッチ軸は、研削および研磨プロセス中にスピンドルが常にウェーハ上に正しく配置されていることを確認するために、研削/研磨スピンドルの動作をテーブルZ軸とレート同期させるために使用されます。カウンターヘッドは、精密制御部品を使用して、高精度の研削および研磨作業を行います。ウェーハモーション、ドライブモーション、テーブルスピードを最適化します。機械内のモーターを備えられたすべての軸は正確に同期され、最高レベルの性能を提供します。また、Counterheadは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、オペレータは研削/研磨プロセスのパラメータを簡単に設定および調整して最大限の効率を得ることができます。アプライドマテリアルズReflexionウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールのカウンターヘッドは、Reflexionアセットの重要な部分です。精密な高速電動軸加工により、ウェーハの精密かつ高精度な研削、ラッピング、研磨を可能にし、さまざまな用途で使用される均一でクリーンな表面を作成します。