中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CMP Head for Mirra Mesa #293655977 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Mesa用CMPヘッドは、半導体デバイスおよび部品製造用の理想的なウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。これは、Si、 Ge、 III-V、 PCB材料を含むが、これに限定されない幅広い基板を処理することができます。従来のCMPプロセスと高度なCMPプロセスの両方に、包括的なワンストップソリューションを提供します。ヘッドは、独立したプロセスパラメータを備えた8つの異なる研削ヘッドと8つのプロセスモジュールで構成されており、ウェハ研削、ラッピング、研磨に優れた柔軟性を提供します。プラットフォームの高精度、多軸スピンドルは最大500 RPMの回転速度を提供し、必要に応じて調整して一貫した反復可能な研磨効果を保証します。その高トルク、長いデューティサイクルのスピンドル設計は、微細なテクスチャ加工と研磨プロセスに安定した基盤を提供し、ユーザーが平面と凹凸のある表面を作ることができます。ヘッドにはスピンドル冷却システムが装備されており、スピンドルの摩耗を低減し、プロセスの実行時間を延長することができます。AMAT CMPヘッドは、単一のウェーハ攪拌-研削（ITG）技術と地域研削能力を備えており、より高いウェーハスループットと表面品質の向上を可能にします。また、取り外し可能なシングルおよびデュアルポートプロセスオプションと自動幅調整オプションも提供しています。デュアルポートオプションにより、同じ基板上に異なる材料を積層することができ、多層デバイスの生産に適しています。AMAT CMP Head for Mirra Mesaには、専用のPLCおよびHMIインターフェイスが装備されており、グラフィカルユーザーインターフェイスと手動制御操作、コーディング機能とリアルタイムプロセス監視のオプションを提供します。最大50個の再循環レシピを保存できるため、ツールのセットアップと実際のプロセスの両方で時間を節約でき、サイクル間でパラメトリック設定を再読み込みする必要がなくなります。APPLIED MATERIALTS Mirra Mesa用CMPヘッドは、さまざまな安全機能も提供します。それはオペレータの安全を保障するために力の反転の連結の安全スイッチ、軽いカーテンおよび安全マットを提供します。また、ビジョンカメラ、オートフィルム検出、ダイアイなどのモニタリング機能を備え、磨き上げたウエハの品質管理を実現しています。さらに、Adaptive Power Control （APC）機能やウェーハの追跡を容易にする自動識別機能など、さまざまなオプションとアップグレードを提供します。このツールは、Hazimarkなどの他のAPPLIED MATERIALSモジュール、または他の供給されたシステムまたはサードパーティのシステムと統合して、完全に自動化されたウェーハ製造プロセスを行うこともできます。