中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CMP 5201 #9113497 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CMP 5201は、最大8インチ（200mm）のウェーハに対応可能なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、最初にダイヤモンド研削工具でウェーハを研削し、次にダイヤモンドラップでラップし、最後にルーズダイヤモンド研磨剤で研磨して、平らで滑らかな表面を作成することによって動作します。AMAT CMP 5201には、ロボットウェハーマニピュレータ、2つのメディアタンクを備えたメディアキャビネット、および2つのクリーニングシステムが含まれています。ウェーハマニピュレータは、自動および手動ローディングモードが利用可能な完全に調整可能な延長アームを備えています。これにより、正確な位置決めと再現可能な操作が可能になります。メディアキャビネットは2つのタンクで構成されています。タンクはまた容易な操作のための自動および手動制御を特色にします。洗浄システムは、研削、ラッピング、研磨サイクル間のメディアタンクの自動洗浄を提供することにより、ダウンタイムを短縮します。さらに、このユニットには、安全性の向上と環境への影響の低減のための空気品質モニターが装備されています。APPLIED MATERIALS CMP 5201の研削とラッピング工程は、片側から材料を取り除き、もう片側を手つかずにしてウェーハ表面を細かく変えるように設計されています。これを実現するために、ダイヤモンドコーティング研削砥石をさまざまなサイズと形状で使用しています。粉砕媒体のグリットサイズは手動で調整され、望ましい結果を監視されます。研削後、ウェーハをラップして表面形状をさらに調整し、滑らかな仕上がりにします。ラッピングに使用されるダイヤモンドは、研削工程で使用されるダイヤモンドよりも小さく、ウェーハの表面を仕上げるために低圧で塗布されます。最後に、ウェーハをルーズダイヤモンド研磨剤で磨き、表面をさらに滑らかにし、明るく反射的な仕上がりにします。CMP 5201は、多彩なアプリケーションに一貫した高品質な結果を提供することができる、汎用性の高い堅牢なウェーハ研削、ラッピングおよび研磨ツールです。その調節可能なロボットアーム、メディアタンク、クリーニングシステムは、機械を使いやすくし、長期的な使用のために信頼性が高くします。さらに、その空気品質モニターは、運用上の安全性を確保し、環境への影響を最小限に抑えます。このように、AMAT/APPLIED MATERIALTS CMP 5201は、ウェーハ研磨作業で高品質な結果を得るための有効なツールです。