中古 AMAT / APPLIED MATERIALS / AMJ Mirra 3400 #293606439 を販売中
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ID: 293606439
ヴィンテージ: 2001
CMP System
(4) TITAN, 8"
(3) Chamber carriers
(3) Coated platens, 20"
ISRM enabled, 20"
Peristaltic pumps
(2) Per platen
(4) Wet cassettes, 8"
Wet in wet out capable, 8"
E/P Regulator setup on the cross
Port rotary union
Typical wear and tear
Does not include Nova patterned recognition unit
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AMJ Mirra 3400は、優れた性能、精度、再現性を提供する高度なウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。この最先端の機器は、トータルプロセス制御とシステム最適化のための業界標準を設定します。AMJ Mirra 3400は、正確で反復可能な結果を保証する自動機能とコンポーネントの完全なスイートを備えています。これには、高度なモーションコントロールユニット、サーボ制御流体ポンプ、リアルタイム温度制御、およびウェーハの精密研削および研磨のための独立した圧力および真空レギュレーションが含まれます。また、非常に応答性の高い動的圧力制御ツールを備えており、圧力分布を自動的に調整して最適化し、効率を高め、材料損失を最小限に抑えることができます。このアセットは、片面または両面研削、スラリー研磨技術など、さまざまなプロセス構成に対応するように設計されています。モジュラー設計により、背面研削アタッチメントや圧力測定装置などの追加部品を使用してモデルをカスタマイズできます。ユーザーの利便性を最大限に高めるため、AMAT Mirra 3400はAMJ TrueViewグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)と統合されています。これにより、ユーザーは直感的なディスプレイを通じて、リアルタイムで研磨プロセスの設定を簡単に監視および調整することができます。さらに、研削・研磨作業を監視する近接センサをはじめとする高度な安全機能を搭載し、運転中もすべての部品が固定状態に保たれます。Mirra 3400には、インライン振動制御システムと機械の故障を検出する音響監視ユニットも含まれており、潜在的な問題をユーザーに通知します。AMATのフル機能を搭載したこのツールは、精密光学用の今日の高性能ウェーハおよびマイクロレンズアレイの製造に最適です。この資産は、優れた製品品質、プロセス効率の向上、再現性を保証する、信頼性の高い正確な結果を提供します。
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