中古 AMADA SE-52N1 #9395041 を販売中

AMADA SE-52N1は、半導体ダイから光学メガネまで、さまざまな素材で薄型ウェハ研削、ラッピング、研磨を行うように設計されたウェハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムには2つの独立した研削スピンドルが含まれており、どちらもXY軸の正確な位置精度を達成するために同じベースに取り付けられています。スピンドルアセンブリは、最大50,000 RPMまでの速度をサポートできるACサーボモータと駆動スピンドルによって駆動されます。2次主軸は最大20°傾斜可能で、精密な研磨/研磨面を実現します。ウェーハは、真空によって研削スピンドルに正確にアライメントされ、最大60KPaのチャッキング圧力で保持されます。サーボモータは、研削、ラッピング、研磨工程でスピンドルの正確な動きを制御し、研削ホイールとラッピングフィルムはそれぞれ研削工程とラッピング工程で使用されます。精密研削/研磨プロセスは、真空密封ベースとフィルターを備えたチャンバーで行われ、クリーンな動作を保証し、処理中に汚染物質がチャンバに引き込まれないようにします。自動送り装置はコンピュータ化されたコントローラーによって制御され、単位がすりおろし、放射状にひき、そして溝を迅速かつ正確にすることを可能にします。機械はまた研摩ベルトが最適の粉砕の性能のための最適張力に常にあることを保障する自動ベルトのテンショナーが装備されています。ウエハオリエンテーションツールは、反復可能な薄いウエハ研削、ラッピング、研磨結果を提供します。また、金属、絶縁体、プラスチック、複合材など様々な基材の研磨が可能です。全体的SE-52N1は、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルであり、極めて精度の高い複数の材料の薄いウェーハを研削、ラッピング、研磨することができます。この装置は、高い精度、再現性、および迅速なウェーハ処理能力を提供し、優れた性能と生産スループットを提供します。