中古 AMADA METRECS TEG 160 #9388812 を販売中
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AMADA METRECS TEG 160は、さまざまな用途で高精度な表面を生成するように設計された自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この汎用性の高いシステムは、半導体、ディスプレイ、その他の薄型ウエハの範囲で優れた結果を達成することができます。このユニットは、一度に6つのウェーハを保持できる回転テーブルベースと多軸ウェーハグリッパーで構成されています。直径8の高速スチールラッピングディスクを搭載しています。このディスクは、最大3000rpmに達することができる可変速度モーターによって駆動されます。さらに、内蔵のPLCは、研削、ラッピング、研磨プロセスを制御することができます。TEG 160は、高精度の表面仕上げやよりクリーンな研磨面などの主な利点を提供します。内蔵の空冷真空ヘッドにより、ウェハとラッピングディスクの接触に最適です。また、従来のラッピングマシンよりも高い材料除去率を実現します。AMADA METRECS TEG 160は、200Cまでの温度を保持できる加熱機と、研削時にウェーハを均等に押し下げる圧力調整装置を備えています。さらに、粉砕およびラッピング工程で発生する破片を収集する強力な集塵ツールを備えています。TEG 160に使用されるツーリングは、さまざまなアプリケーションに簡単に交換できるように設計されています。この機械は、特殊な水ベースの潤滑アセットを使用して、ツーリングの摩耗を最小限に抑えます。AMADA AMADA METRECS TEG 160は、薄型ウェーハの高精度研削、ラッピング、研磨に最適なモデルです。それは非常に汎用性が高く、それが再現性と信頼性の高い結果を達成することを保証するためにいくつかの機能が付属しています。
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