中古 ALPSITEC MECAPOL E550 #9240664 を販売中
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ID: 9240664
ウェーハサイズ: 6"
CMP System, 6"
Rack:
Wafer diameter: < 200 mm
Rotation speed: 15-150 RPM
Rear pressure: 0-100 kPa
Polishing force: 0-3000 N (14 psi on 8")
Horizontal displacement: Adjustable amplitude
Main load tray:
Diameter: 550 mm
Rotation speed: 15-150 RPM
Temperature: 10°C - 60°C
Secondary tray:
Diameter: 350 mm
Rotation speed: 20-200 RPM
Conditioner:
Force: 10-300 N
Diameter: 100mm, 238 mm
Rotation speed: 10-70 RPM
Final conditioner:
Linear brush: 22 mm x 100 mm
Facilities:
Pressurized air: 6-7 bars
Head motor: 0.75 kW
Engine tray: 2.2 kW
Conditioner engine: 0.37 kW
Consumption:
Water-DI: 200 L/hr
Pressurized air: 220 L/min
Electricity: 5 kW
Air gap: Internal pump
Power: 220-380 V, 50-60 Hz, 3 Phase.
ALPSITEC MECAPOL E550は、表面仕上げに優れた高品質で高収率のウェーハを製造するように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、特許取得済みの「セルフアライニング」垂直研削原理を備えており、0。5 μ mの粗さ平均(RA)と最大10 μ mの表面平坦度で最大250mmの大きなウェハを処理するように設計されています。MECAPOL E550は、3つの独立した研削スピンドルで高効率なシリコン研削およびラッピング技術を提供し、高精度で再現性のある研削結果を得ることができます。ALPSITEC MECAPOL E550には、効率的で安全な操作を保証するための監視ユニットが装備されています。このマシンは、バッチまたは完全に自動化された処理用に設計されており、自動ウェハローディングとアンロードが可能です。このツールには2次元オートフォーカスカメラも装備されており、正確な測定と研削パラメータの調整が可能です。さらに、E550は一般的なすべての高速システムと互換性があり、既存の生産プロセスにシームレスに統合できます。MECAPOLのE550はまた機械変数および調理法のローディングの容易な組み立てそして調節のためのデジタルLCDのタッチ画面を装備することができます。このアセットには、部品カウンターとスロットルセンサーが内蔵されており、各バッチの研削時間と出力を監視します。高精度の振動絶縁モデルを採用し、過度の振動や乱れによる誤差を最小限に抑えます。ALPSITEC MECAPOL E550は、優れた表面仕上げで高品質、高収率ウェハを提供します。高度な研削、ラッピング、研磨技術を備えたこの装置は、0。5 μ m RAおよび最大10 μ mの表面平坦度で最大250mmの大型ウェーハを処理できます。また、フェイルセーフモニタリングシステムや使いやすいLCDタッチスクリーンコントロールを搭載しており、操作とセットアップが容易です。MECAPOL E550は、効率的な生産速度と信頼性、再現性の高い結果を備え、大型ウェーハの研削、ラッピング、研磨に最適なソリューションです。
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