中古 ALLIED TechCut 5 #293770863 を販売中

ALLIED TechCut 5
ID: 293770863
Precision sectioning machine.
ALLIED TechCut 5は、半導体業界で使用される優れた表面品質の高精度ウェハを実現するために設計された高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。直径5。5インチまでの表面積を持つウェハ加工が可能で、摩擦制御性が高く、単軸X-Y構成を採用しています。研削ヘッドは、デジタルサーボモータを使用して、最大速度2000RPM、速度制御精度0。5%の可変速度研磨プロセスを駆動します。ヘッドはマニュアルクランクで素早く配置でき、0。1 µmの精度レベルの再現性があります。また、ワークスペースからの粉砕破片やその他の破片を効率的に除去するための集塵システムを備えています。ラッピングモジュールには、ラッピング圧力の正確な調整を可能にする2組の高性能ハイドロスタティックガイドが装備されています。圧力も調整可能で、処理されるウェーハの種類に合わせてラッピングプロセスを柔軟に調整できます。ラッピングヘッドには、50-100mmの大きな直径のウェットポリッシングプレートを駆動するAllen-Bradleyデジタルサーボモーターも内蔵しています。研磨モジュールには精密グレードの研磨ヘッドが装備されており、精度は0。2 µm、再現性は0。01 µmです。研磨ヘッドとプラットフォームの同期動作を可能にする独立したコントローラを内蔵し、迅速かつ正確な研磨プロセスを実現します。デジタルサーボモータにより、最大500RPMまでの可変速度制御が可能です。TechCut 5ウェーハ研削、ラッピング、研磨システムは、精密な速度と圧力制御、信頼性の高い研削/ラッピング/研磨ヘッド、優れた除塵機能など、最高品質の結果を保証するために多くの機能を使用しています。堅牢な設計により耐久性が高く、優れた性能により、最も複雑なウエハでも素早く加工できます。
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