中古 ACRA RS 618 #79387 を販売中

ACRA RS 618は、半導体ウェーハをスライスしたばかりのウェーハから、重要な高度なパターン化された要件まで細かく加工および研磨するために使用される高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この機械は、優れた精度と表面仕上げのためのレンジスピンドル設計のトップを利用して、片面および両面処理をサポートすることができ、最大300mmの直径にウエハをサポートすることができます。RS 618の中心は精密性能を保障するように設計されている粉砕および磨くメカニズムです。高速ブラシレスDCモータで駆動されるダイヤモンドドレススピンドルを使用し、最大5000RPMの可変速度で動作します。スピンドルは、さまざまな直径と用途の要件に合わせて、交換可能なフラット、ロータリー、カップホイールをサポートしています。また、ロボットローディングとアンロード機能も備えており、効率的で自動化されたウェーハ処理が可能です。ACRA RS 618のウエハハンドリング機能は、フラットウエハとグランドウエハの両方に対応でき、Si、 Ge、窒化ガリウム（GaN）などのさまざまな材料に対応できます。ローディングとアンロードロボティクスは、ウェーハを正確かつ迅速に配置する精密なオープンループステッピングモータドライブによって駆動されます。より良い制御のために、RS 618には自動および手動制御機能のフルスイートが含まれています。これにより、リアルタイムでプロセスパラメータのモニタリングとチューニングが可能になり、ウェーハ間の簡単かつ迅速な切り替えが容易になります。また、パワフルで直感的なタッチスクリーンHMIにより、研削、研磨、ロボット操作のすべてをユーザーフレンドリーにプログラミングできます。ACRA RS 618は高効率であり、手作業による処理よりもはるかに優れた結果をもたらし、世界の主要な安全規制を念頭に設計および構築されています。自動化されたウェーハ研削、ラッピング、研磨のための堅牢で信頼性の高いマシンであり、最高のウェーハ品質レベルで確実で再現性の高い結果を提供します。