中古 ACCRETECH / TSK TS-6W-R #9223099 を販売中

ACCRETECH/TSK TS-6W-Rは、短時間で高精度な結果を得るように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。研削・研磨パラメータを調整することにより、表面粗さ0。1 µm以下のウェハを製造することが可能です。ラッピングプレート間の最適な平坦性により、このユニットによって達成される層干渉の平坦性は± 0。01 µmです。TSK TS-6W-Rは、シリコンから窒化ガリウム（GaN）まで、幅広い材料を加工できる6インチウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。このプロセスは、温度と圧縮空気環境を制御したクリーンチャンバーで完了し、汚染の可能性を最小限に抑えます。使いやすいタッチスクリーンのパネルはオペレータが必要に応じて粉砕、ラッピング、および磨く変数を調節することを可能にします。ロボットアームの水平移動を制御する2つの摩擦式スピンドルドライブと2つのスピンドルガイドプレートを備えています。これにより、ロボットはウェーハを粉砕してラップするためにウェーハを平らに保ちながら移動することができます。このアセットには高解像度カメラが搭載されており、オペレータは研削およびラッピング工程中にウェーハの進行状況を見ることができます。ACCRETECH TS-6W-Rモデルには、ウェーハの表面粗さを計算するダイレクトフィードバックセンサーと、ウェーハ表面の離散点で粗さを測定できる粗さ測定ユニット（RMU）が搭載されています。また、粉砕工程で発生する粉塵を全て回収することで環境を清潔に保つ独自の集塵システムも搭載しています。TS-6W-Rユニットは、研削、ラッピング、研磨プロセスが一貫して実行されることを確認するために、周波数駆動を備えた3相ACモータと3相ACモータによって駆動されます。機械は容易に異なったタイプの材料処理の要求に応じるために粉砕、ラッピングおよび磨く変数を形成するように設計されています。結論として、ACCRETECH/TSK TS-6W-Rは、汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールです。幅広い素材の加工が可能で、高解像度カメラ、集塵アセットを備え、環境を清潔に保つことができます。このモデルは、研削および研磨パラメータを簡単に調整できるように設計されており、短時間で一貫して高精度な結果を得ることができます。