中古 ACCRETECH / TSK PG 3000 RMX #293669541 を販売中
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ACCRETECH/TSK PG 3000 RMXは、半導体製造および研究施設において優れた性能を提供するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高度なマイクロエレクトロニクス加工技術により、超微細ミラー仕上げによる薄型ウェハの性能精度の高い仕上げを実現しています。TSK PG 3000 RMXは、TSK PGウェーハエッジグラインダシリーズの最新製品で、精密な仕上げ研磨のための優れた精度、生産性、再現性を提供します。速度制御を内蔵した調整可能なアングルチャック、堅牢で低振動の設計、および調整可能なプロセス制御設定を備えています。ACCRETECH PG 3000 RMXは、直径100ミリメートル、厚さ0。4ミリメートルまでの薄いウェーハに使用するために設計されています。また、シリコン、石英、アルミナ、セラミックなどの他の多くの基板とも互換性があります。PG 3000 RMXは、最適化されたドライブシステムと振動のない設計により、低ノイズ動作のために設計されています。また、低振動の水冷インペラを搭載し、プロセスノイズを最小限に抑えることができます。ACCRETECH/TSK PG 3000 RMXは、3点速度制御システムを備えた三相モータによって駆動されます。これにより、高速研削から低速、より精密な研磨まで、さまざまなプロセス時間で精度が保証されます。安全のため、TSK PG 3000 RMXはプロセスドアにセキュリティキースイッチを備えています。これは、半導体業界の安全規制の遵守を確実にするのに役立ちます。ACCRETECH PG 3000 RMXは、高度なプロセスコントロールソフトウェアにより高精度な研磨も実現しています。これにより、ユーザーはプロセスを最適化し、設定を調整して目的の仕上がり品質を達成することができます。このユニットはまた、統合されたプロセスモニタリングマシンを提供しており、各プロセスステップが所望の目標に沿って実行されるようにします。PG 3000 RMXは、研究および半導体製造設備が最高レベルの生産効率、精度、再現性を達成するのに役立つ強力なツールです。これは、優れた表面仕上げでコンポーネントを作成するのに役立つ理想的なツールです。
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