中古 ACCRETECH / TSK PG 3000 RM #9397446 を販売中

ACCRETECH/TSK PG 3000 RMは、様々なシリコンおよび化合物半導体材料で一貫して高品質の表面仕上げを作り出すように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、革新的なエアベアリングスピンドル研削機構を使用して優れた研削結果を提供し、ラッピングプラテンはウェハの表面全体に均一なラップを保証します。RCMポリッシングヘッドは、長いグラインドラップポリッシュサイクルの後でも、ラップ面の均一性を維持しながら、目的の表面仕上げをさらに洗練させます。さらに、このユニットは、様々な研磨スラリー溶液と組み合わせることで、傷やダンスの除去、バッフィング、最終的に研磨など、さまざまなポリッシュ度を調達することができます。優れた研削結果を得るために、TSK PG 3000 RMはエアベアリングに搭載された精密スピンドルモーターを使用しており、非常に滑らかで一貫した研削動作を保証します。さらに、高度なダイヤモンドホイールツルーイングとラフ研削能力を備え、出力の品質と均一性をさらに向上させます。さらに、このマシンは、プライムウエハとノンプライムウエハの両方で優れた表面仕上げ品質を可能にするラッピングおよび研磨ヘッド速度制御を備えています。さらに、このツールの水冷式ポリッシングヘッドは信頼性が高く安全な動作を保証しますが、独自のポリッシングホイールヘッド設計により、ホイールは歪みや損傷を引き起こすことなくウェーハとの最適な接触を保証します。ACCRETECH PG 3000 RMの高度な機能セットにより、オペレータはニーズと要件に応じて研削、ラッピング、研磨サイクルをカスタマイズできます。例えば、アセットには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれており、研削、ラッピング、研磨サイクルのさまざまなパラメータを簡単に設定および監視できます。インテリジェントな診断機器を使用して、モデルのパフォーマンスをリアルタイムで監視することもできます。このシステムの他の機能には、スピンドルベアリングウェアモニター、電力効率モニター、温度モニターなどがあります。さらに、このユニットには、評価や最適な結果を得るためのプロセスパラメータの設定に使用できるさまざまなツールが付属しています。全体として、PG 3000 RMは強力なウェーハ研削、ラッピング、研磨機であり、さまざまな半導体材料で一貫した高品質の表面仕上げを実現するために特別に設計されています。その高度な機能のおかげで、オペレータはすばやく効率的に目的の出力を達成するのに役立ちます。