中古 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9396416 を販売中

ACCRETECHACCRETECH/TSK PG 300 RMは、III-V化合物、メム、ディスクリート装置などの半導体デバイス向けに開発された、完全に自動化された精密なウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。このシステムは、独自の機能である自動再循環ウェーハマッピングUnit™ （ARMS）により、優れたバックサイドウェーハフラット性と高スループットを提供します。TSK PG300RMは、直径300mmまでの複数のウエハを研削、ラッピング、研磨することができます。圧力ローラーを使用してウェーハ全体に均等に分散した負荷をかけることで、表面粗さを最小限に抑えた平坦で均一な研磨裏面を実現します。より困難な基板や用途のために、このツールは10nm Edge to Edge Total Thickness Variation （ETTV）の平坦度を達成することができます。このアセットは、最大18,000rpmの速度と+0。00025°の精密な回転制御を備えた超高速ウェーハ処理用に設計されています。これは、ユーザーがパラメータを保存し、定義されたプログラムに従ってウェーハを処理することができる自動レシピを備えています。チャックを中心とした安全なウェーハを確保するローディングステーションを装備し、シワやクラックの損傷を軽減します。一度に最大4枚のウエハを加工することができ、研削、ラッピング、研磨工程間の待ち時間を短縮できます。より要求の厳しいアプリケーションのために、ACCRETECH PG 300RMには7ゾーン循環モードが含まれており、トータルサイクルタイムをさらに短縮できます。全体として、PG300RMは大型基板用に設計された高度で自動化されたウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルです。この装置は、優れた表面平坦性と優れたスループットを提供し、III-V化合物、メムおよびディスクリート装置の生産歩留まりの向上と最適な品質を可能にします。