中古 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9272970 を販売中
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ID: 9272970
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Back grinder, 12"
Vacuum pump
Slurry
Air dryer
Chiller
UV Irradiation
UV Controller
RM (Wafer mounting, detaping)
2003 vintage.
ACCRETECH/TSK PG 300 RMは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨に使用される機械です。機械は、研削とラッピングのための反対力を適用する回転ヘッドを使用して動作し、異なる研削および研磨工具に柔軟性を提供します。装置はあらゆる仕事のための正確さそして精密を保障するのに油圧技術を利用します。直径300mmまでのウェーハ加工が可能で、5ミクロン以下の再現性があります。対称モーションコントロールシステムは、あらかじめプログラムされたパラメータからのデータの偏差をすばやく検出して修正するのに役立ちます。本機は、研削ヘッドの精密位置決めにデジタル制御サーボモータを使用し、前後面の研削、研磨、ラッピング、鏡面仕上げなど幅広い用途に適しています。最大80mm/minの研削速度で高速加工が可能です。また、冷凍業界に見られるような極端な凹凸のある表面を研削し、研磨する機能もあります。TSK PG300RMは、研削速度、圧力、研磨時間などのウェーハ加工パラメータをプログラミングするためのデータストレージマシンと統合されたECU (Electronic Control Unit)を搭載しています。データは、さまざまなジョブに対して迅速に取得および調整することができます。ACCRETECH PG 300RMは、安全性と動作安定性を確保するための完全な温度制御ツールと統合されています。温度アセットは、ユーザーの好みに応じて手動または自動で設定できます。ACCRETECH PG300RMは、過熱を防ぎ、機器の完全性を確保するために、サーマルヘッド保護モデルも備えています。さらに、ガスバックパージシステムを内蔵することで、ウェハや研削工具を清潔に保ち、破片を取り除くことができます。このユニットには、必要なメンテナンスを削減する自動潤滑機も装備されています。機械に取付け、作動することを容易にさせる密集した、人間工学的の設計があります。また、オペレータの安全のための安全スイッチやガードが装備されています。このデバイスは軽量で搬送が容易なため、幅広い用途に最適です。PG 300 RMは、信頼性が高く効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールで、使いやすく、正確な結果を提供します。
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