中古 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9183184 を販売中

ACCRETECH/TSK PG 300 RMは、優れた品質、一貫性、再現性を提供するように設計された最先端の精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、非常に薄くて壊れやすいウェーハの研削とラップ研磨のための半導体業界の要件を満たすように特別に設計されています。高速・高トルク回転ダイヤモンドホイールを搭載した精密ウェーハ研削スピンドルを採用し、ウェーハの端を3ミリ（75 μ m）薄く、均一で再現性に優れています。一貫したウェハ処理に不可欠な均一な送り角度を確保するために、調整可能な2段ウェーハ送り機構が組み込まれています。スピンドルは、最適な研削、ラッピング、研磨性能のための可変速度ACサーボドライブマシンを備えており、精度、安定性、再現性を提供します。さらに、このツールには、回転ラッププレートを使用した2段階のラッピングおよび研磨構成が含まれています。ソフト、ミディアム、ハードなど様々なラッププレートが用意されているほか、マッチングセットにより精密な研磨工程の制御が可能です。ロータリーラッププレートは、効率的かつ正確な研磨を提供するサーボモータによって駆動されます。TSK PG300RMには、ウエハーの積み下ろし用に高性能でコンピュータ制御された真空チャックが装備されています。真空チャックは、最大8インチ正方形および12インチ直径のウェーハを固定することができ、簡単にウェーハをロードするための自動チャッキング機構を備えています。このアセットは、全半導体に対応しており、プロセス環境をリアルタイムで監視するための統合パーティクルカウンターを備えています。このモデルの他の機能としては、ほこりや破片からオペレータを保護する安全エンクロージャ、完成したウェーハの視覚的監視と検証のための調整可能なミラー照明装置、簡単なシステム制御/プログラミングのためのタッチスクリーンモニターとキーボード、および効果的な温度管理のための動的冷却があります。全体として、ACCRETECH PG 300RMは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスにおいて優れた品質、一貫性、再現性を提供できる、非常に正確で信頼性の高いユーザーフレンドリーなユニットです。精密微細加工に最適な機械であり、集積回路の製造に携わる人々にとって理想的な選択肢です。