中古 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #293799621 を販売中

ACCRETECH/TSK PG 300 RMは、半導体、LED、太陽光発電産業で使用されるプロセス用に設計された完全自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムはまた、研究開発および非金属切削研削および顧客の研磨要件のニーズを満たすように設計されています。ウェーハ研削、ラッピング、研磨交換ユニットは、柔軟なウェーハ回転機を提供するために、ロードロック処理と循環ロック処理を備えています。このツールは、複数のウエハのウィンドウ処理用に設計されており、各ウインドウは25mmから200mmの単一のウエハサイズをサポートし、1つの基板上の円形、正方形、長方形のカットアウトの種類が異なります。このアセットは、X、 Y、 Z方向の3軸加工機能を備えており、ウェーハ交換時に最大6軸移動を提供します。ウェーハカセットとキャリアは自動的に交換され、安全で信頼性の高いプロセスを保証します。ウェーハ研削に加えて、セラミック、ダイヤモンド、その他の研磨剤の範囲でラッピングと研磨を特徴としています。フラットネス制御と一貫した表面仕上げのための圧力センシングを使用して、高精度を維持します。操作が簡単なタッチスクリーンを備えており、手作業で自動化されたプロセス監視と制御が可能です。また、運転中の不要な物理的接触を防ぐための耐久保護ユニットや、亀裂などの欠陥を自動的に検出するビジョンマシンも搭載しています。プロセスは双方向通信、サポート制御および維持機能とユーザーの必要性に従ってさらにカスタマイズすることができます。TSK PG300RMには、3段式スクラビングおよびエアクランプ工程、丸型加工機能、オーバーサイジングアプリケーション、自動ノズル洗浄など、さまざまな業界標準オプションが用意されています。このツールには、専用のリターンステーションと防水/防塵ハウジングも含まれています。全体として、ACCRETECH PG 300RMは、高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスに最適です。